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光學尺系列

線性光學尺

RTL(不鏽鋼光學尺)

光學尺名稱

精度

柵距

熱膨脹係數(20 °C 時)

供應長度

讀頭相容性

RTLF-S

RTLF20 光學尺

20 μm:±5 μm/m
40 μm(高精度):±5 µm/m
40 μm:±15 μm/m

20 µm/40 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

長達 10 m(可依要求供應 10 m 以上長度)

ATOMATOM DX

RTLC-S

RTLC20-S 光學尺
20 μm:±5 μm/m
40 μm(高精度):±5 µm/m
40 μm:±15 μm/m
20 µm/40 µm10.1 ±0.2 µm/m/°C

長達 10 m(可依要求供應 10 m 以上長度)

VIONiCQUANTiCTONiCTONiC UHVTONiC FS

RTLA-S

RTLA-S 光學尺

30 μm:±5 µm/m
50 μm:±10 µm/m

30 µm/50 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

RESOLUTE:長達 21 m

EVOLUTE:長達 10.02 m


RESOLUTERESOLUTE UHVRESOLUTE FSEVOLUTE

RTL FASTRACK™(不鏽鋼光學尺搭配選購的軌道)

光學尺名稱

精度

柵距

熱膨脹係數(20 °C 時)

供應長度

讀頭相容性

RTLC 搭配選購的 FASTRACK

RTLC20 FASTRACK 光學尺

20 μm:±5 μm/m

40 μm(高精度):±5 µm/m
40 μm:±15 μm/m


20 µm/40 µm


10.1 ±0.2 µm/m/°C

長達 10 m(可依要求供應 10 m 以上長度)

VIONiCQUANTiCTONiCTONiC UHVTONiC FS

RTLA 搭配選購的 FASTRACK

RTLA FASTRACK 光學尺

30 μm:±5 µm/m

50 μm:±10 µm/m


30 µm/50 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

RESOLUTE:長達 21 m

EVOLUTE:長達 10.02 m

RESOLUTERESOLUTE UHVRESOLUTE FSEVOLUTE

RKL(精細型不鏽鋼光學尺)

光學尺名稱

精度

柵距

熱膨脹係數

供應長度

讀頭相容性

RKLC-S、RKLR-S

RKLC20 光學尺

20 μm:±5 μm/m

40 μm(高精度):±5 µm/m

40 μm:±15 μm/m


20 µm/40 µm

以端蓋固定光學尺尾端時,能符合基板材質

長達 20 m(可依要求供應 20 m 以上長度)

VIONiCTONiCTONiC UHVQUANTiC


RKLF-S

RKLF 線性光學尺


20 μm:±5 μm/m

40 μm(高精度):±5 µm/m

40 μm:±15 μm/m

20 µm/40 µm

以端蓋固定光學尺尾端時,能符合基板材質

長達 10 m(可依要求供應 10 m 以上長度)

ATOMATOM DX

RKLA-S

RKLA 線性光學尺

±5 μm/m

30 µm

以端蓋固定光學尺尾端時,能符合基板材質

最長達 21 mRESOLUTE

REL(ZeroMet™ 光學條尺)

光學尺名稱

精度

柵距

熱膨脹係數(20 °C 時)

供應長度

讀頭相容性

RELM20/RELE20

RELM RSLM 光學尺

±1 µm 用於最多 1 m,則 ±1 µm/m

20 µm

0.75 ±0.35 µm/m/°C

最長達 1.5 m

VIONiCTONiCTONiC UHVTONiC FS

RELA30

RELA 光學尺

±1 µm 用於最多 1 m,則 ±1 µm/m

30 µm

0.75 ±0.35 µm/m/°C

最長達 1.5 m

RESOLUTERESOLUTE UHVRESOLUTE FS

RSL(不鏽鋼光學條尺)

光學尺名稱

精度

柵距

熱膨脹係數(20 °C 時)

供應長度

讀頭相容性

RSLM20/RSLE20/RSLC20

RELM RSLM 光學尺

±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m

20 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

最長達 5 m

VIONiCTONiCTONiC UHVTONiC FS

RSLA30

RELA 光學尺

±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m

30 µm

10.1 ±0.2 µm/m/°C

最長達 5 m

RESOLUTERESOLUTE UHVRESOLUTE FS

RCL(玻璃光學條尺)

光學尺名稱

精度

柵距

熱膨脹係數

供應長度

讀頭相容性

RCLC

RCLC 光學尺

±3 µm

20 µm/40 µm

~8 µm/m/°C

最長達 130 mm

ATOMATOM DX

部分弧線光學尺

RKL(精細型不鏽鋼部分弧線光學尺)

光學尺名稱

精度

柵距

熱膨脹係數(20 °C 時)

供應長度

讀頭相容性

RKLC-S

RKLC 部分弧線光學尺

20 μm:±5 μm/m

40 μm:±15 μm/m


20 µm/40 µm

10.1 ±0.2 μm/m/°C

長達 20 m(可依要求供應 20 m 以上長度)

VIONiCTONiCQUANTiC

RKLF-S

RKLF 部分弧線光學尺

±15 μm/m

40 µm

10.1 ±0.2 μm/m/°C

長達 10 m(可依要求供應 10 m 以上長度)

ATOMATOM DX

RKLA-S

RKLA 部分弧線光學尺

±5 μm/m

30 µm


10.1 ±0.2 μm/m/°C

最長達 21 m

RESOLUTE

旋轉光學尺

RES(不鏽鋼環)

光學尺名稱

一般安裝精度*(視環的直徑而定)

柵距

熱膨脹係數(20 °C 時)

環直徑


讀頭相容性

RESM

RESM-REST 光學尺(光學尺頁面)

(直徑 300 mm)±3.1 弧秒
(直徑 150 mm)±5.5 弧秒
(直徑 75 mm)±9.5 弧秒


20 µm/40 µm

15.5 ±0.5 µm/m/°C


52 mm 至 550 mm


VIONiCTONiCTONiC UHVTONiC FSQUANTiC

RESA30

RESA 光學尺(光學尺頁面)

(直徑 300 mm)±3.1 弧秒
(直徑 150 mm)±5.5 弧秒
(直徑 75 mm)±9.5 弧秒


30 µm

15.5 ±0.5 µm/m/°C

52 mm 至 550 mm


RESOLUTERESOLUTE UHVRESOLUTE ETRRESOLUTE FS

*「一般」安裝是刻度及安裝誤差結合一定程度取消效應的結果。


REX(超高精度不鏽鋼環)

光學尺名稱

一般安裝精度*(視環的直徑而定)

柵距

熱膨脹係數(20 °C 時)

環直徑


讀頭相容性

REXM20/REXT20

REXM 光學尺(光學尺頁面)

(直徑 ≥ 100 mm)±1 弧秒
(直徑 75 mm)±1.5 弧秒
(直徑 ≤57 mm)±2 弧秒

20 µm

15.5 ±0.5 µm/m/°C

52 mm 至 417 mm


VIONiCTONiCTONiC UHV

REXA30

REXA 光學尺(光學尺頁面)

(直徑 ≥ 100 mm)±1 弧秒
(直徑 75 mm)±1.5 弧秒
(直徑 ≤57 mm)±2 弧秒


30 µm

15.5 ±0.5 µm/m/°C


52 mm 至 417 mm


RESOLUTERESOLUTE UHVRESOLUTE ETRRESOLUTE FS

*「一般」安裝是刻度及安裝誤差結合一定程度取消效應的結果。


RCDM(玻璃盤)

光學尺名稱

柵距

熱膨脹係數(20 °C 時)

圓盤外徑

讀頭相容性

RCDM

RCDM 光學尺(光學尺頁面)

20 µm/40 µm

~8 µm/m/°C

17 mm 至 108 mm

ATOMATOM DX


CENTRUM™(不鏽鋼圓盤)

光學尺名稱

柵距

熱膨脹係數(20 °C 時)

圓盤外徑

讀頭相容性

CSF40

CENTRUM™ CSF40 盤形光學尺

40 µm

15.5 ±0.5 µm/m/°C

固定選項:

螺栓:38.4 mm 至 120 mm

夾鉗:31 mm 至 120 mm

如需其他尺寸,請聯繫 Renishaw


ATOMATOM DX