TONiC™ UHV 增量式光學尺系統搭配 REXM20(角度)旋轉環
特性
- 讀頭尺寸:35 x 13.5 x 10 mm
- 能達到 1 nm 解析度
- 速度高達 3,673 rpm
- 類比或數位輸出
- 超低的細分誤差 (SDE):一般 < ±30 nm
- 光學 IN-TRAC™ 參考原點
優點
- 超高真空 (UHV)
- 大截面環具備 ±1 弧秒的安裝精度
- 超輕巧型編碼器讀頭具備動態訊號調節功能,能提高運動控制性能
- 提供診斷套件協助處理棘手安裝與系統優化。
![網站橫幅的透明修補程式](/media/img/gen/4efef74a4adf4781888859de0d5ea48b.png)
什麽是 TONiC UHV?
TONiC UHV 將 Renishaw 的輕巧型非接觸式光學尺系統引進超高真空應用,為客戶提供更卓越的運動控制性能。
TONiC 如與 Ti 介面結合,在線性和旋轉應用中,均可達到 10 m/s 的速度和低至 1 nm 的解析度。TONiC 系統安裝快速簡便,提供寬鬆的安裝公差,按下按鈕即可進行校正。TONiC 的動態訊號處理功能可改善訊號穩定性,細分誤差通常超低,不到 ±30 nm,有助於實現優異的運動控制效能。
什麼是 REXM20 環?
REXM20 為一體式不鏽鋼環,具有的 20 µm 刻矩增量刻度直接標示於周圍,其具備 IN-TRAC™ 光學參考原點。REXM20 擁有大截面,可將安裝錯誤減至最低,但偏心率例外,這種錯誤可使用 DSi(雙訊號介面)及雙讀頭輕鬆補正。REXM20 的整體安裝精度高達 ±1 弧秒,具備零連接損失特性和絕佳的重複性。
REXM20 有多種尺寸可供選擇(Ø52 mm 至 Ø417 mm)與刻線數,全部均具備大內徑,可進行彈性整合。非接觸式格式能消除反向間隙、軸扭曲(扭轉)及其他傳統封閉式光學尺固有的機械遲滯錯誤。
為什麼選擇這種光學尺系統?
超高真空 (UHV)
TONiC UHV 讀頭將標準 TONiC 的優異性能引入讀頭。TONiC UHV 讀頭在設計及建造上運用了 UHV 相容材質及加工技術,適合用於精細至 10 -10 Torr 的 UHV 條件。
TONiC UHV 光學尺及配件系列由真空相容材質及黏著劑製成,具備低放氣率並經過受證實的無塵殘留氣體分析 (RGA),適用於許多用途,包括晶片搬運/測試、科學儀器、光譜儀、真空檢驗設備等更多其他應用。
超高安裝精度
REXM20 具備兩個 TONiC 讀頭及一個 TONiC DSi(雙訊號介面),故能達到極致的角度量測性能,提供絕佳的重複性及零連接損失特性,整體安裝精度優於 ±1 弧秒。REXM20 的大截面設計可將安裝錯誤減至最低,但偏心率例外,這種錯誤可使用 TONiC 雙讀頭的聯合輸出輕鬆補正。用 DSi 解決偏心率問題後,就只剩下刻度和 SDE,而此兩者的誤差都極小。
優異的量測功能
TONiC 光學尺配備 Renishaw 獲市場肯定的過濾光學鏡組與進階訊號處理功能。自動增益控制 (AGC) 及自動偏置控制 (AOC) 技術降低讀頭內的類比訊號雜訊與數位抖動。
TONiC 光學尺提供絕佳的 <±0.5 nm RMS 的低訊號輸出抖動及 <±30 nm 的低細分誤差 (SDE),使系統能夠更妥善維持位置並在線性馬達應用中產生較少熱能。低抖動亦使得低速下的高精度應用能展現更平順的速度控制。
彈性配置
TONiC 系列提供各種能夠設定的外部介面以滿足應用的速度和解析度需求。藉由外部介面的後期整合與配置,多功能 TONiC 讀頭為終端使用者提供許多自訂選項。
TONiC 介面選項能進行數位、類比輸出或數位及類比訊號的雙輸出。TD(雙解析度)介面提供可選擇的雙解析度輸出,也提供於寬幅列印應用的 DPI 介面。TONiC 光學尺配置的彈性使 OEM 能在各種應用領域中受惠於優異的運動控制及高產量。
介面選項
TD(雙解析度)介面
- 可選擇雙解析度正交輸出。
- 介面選項適合需要高速運動的應用,結合更精密精度的運動。
![Ti 介面(平方)](/media/img/gen/e186b5cf51004796a193980b805e21a9.jpg)
DOP(雙輸出)介面
- 提供同步數位正交及 1Vpp 訊號。
- 此介面在設計上適合用於須透過運動軸,將一或多項作業進行同步的應用。
DSi(雙訊號介面)
- Renishaw 的 DSi 結合來自 REXM20 環(局部旋轉應用則採用 REXT20 環)上 TONiC 雙讀頭的增量訊號,以補償軸承晃動產生的影響,並消除奇數諧波誤差(包含偏心率),提供一般為 ±2.0 弧秒的整體安裝精度。
![帶RESM圓環的TONiC雙訊號介面](/media/img/gen/1e8644e0d6c941c5a6344ac8eba537c2.jpg)
選配診斷工具組
![TONiC™ 診斷工具組(軟體及硬體)](/media/img/gen/3272889eea984c08aa45c86c6c18f4ff.jpg)
可採用 TONiC 軟體優化 TONiC 光學尺的安裝,提供快速全面的系統校準。必須將軟體與 TONiC 診斷硬體一起使用,即可使用 A-9411-0011 零件訂貨號從 Renishaw 購買。可透過 USB 線(於套件中提供)或客戶線上電子裝置連接硬體與電腦。
瞭解所有關於 TONIC 診斷工具組的資訊。
技術規格
量測標準 | REXM20:一體式超高精度不鏽鋼環 亦提供適用於局部旋轉應用的 REXT20 |
讀頭尺寸(長 x 寬 x 高) | 35 mm x 13.5 mm x 10 mm |
柵距 | 20 μm |
熱膨脹係數(20 °C 時) | 15.5 ±0.5 μm/m/°C |
環外徑 | 52 mm 至 417 mm |
刻線數 | 8 192 至 65 536(依環尺寸而定) |
參考原點 | REXM20:單一 IN-TRAC 參考原點環 REXT20:雙參考原點環適用於局部旋轉應用 |
整體安裝精度(含 2 個讀頭) | (直徑 ≥ 100 mm)±1 弧秒 (直徑 75 mm)±1.5 弧秒 (直徑 ≤57 mm)±2 弧秒 |
最高速度 類比 數位 | (詳見規格手冊) -3 dB 時為 3673 rpm(位於 52 mm REXM20) 3673 rpm(位於 52 mm REXM20 時為 5 μm 解析度 TONiC) |
細分誤差 (SDE) | 一般低於 ±30 nm |
動態訊號控制 | 即時訊號調節,包括自動增益控制 (AGC) 及自動偏置控制 (AOC),優化操作時的性能 |
增量訊號 類比 數位 | (若要瞭解角度解析度的詳細資訊,請參閱規格資料表) 1 Vpp(20 μm 週期) 解析度範圍為 5 μm 至 1 nm |
電氣連接 | 0.5 m、1 m、1.5 m、3 m、5 m 及 10 m 纜線長度及迷你接頭(直接連接 TONiC 介面) |
電源 | 5 V ±10%、< 100 mA(類比系統)、< 200 mA(數位系統)(無端接) |
讀頭耗電量 | < 100 mA |
振動(運作時) | 於 55 Hz 至 2 000 Hz 範圍達到最高速 100 m/s2 |
衝擊(非工作) | 1000 m/s2、6 ms、½ 正弦 |
工作溫度(系統) | 0 °C 至 +70 °C |
烘烤溫度(非操作) | 120 °C(僅限讀頭及光學尺) |
防護等級 | 讀頭:IP20 介面:IP20 |
纜線構造 | 鍍錫銅編單屏蔽、FEP 芯線絕緣體 |
請參閱規格手冊,了解詳細資訊。