TONiC™ UHV 增量式光學尺系統搭配 REXM20（角度）旋轉環
特性
- 讀頭尺寸：35 x 13.5 x 10 mm
- 能達到 1 nm 解析度
- 速度高達 3,673 rpm
- 類比或數位輸出
- 超低的細分誤差 (SDE)：一般 < ±30 nm
- 光學 IN-TRAC™ 參考原點
優點
- 超高真空 (UHV)
- 大截面環具備 ±1 弧秒的安裝精度
- 超輕巧型編碼器讀頭具備動態訊號調節功能，能提高運動控制性能
- 提供診斷套件協助處理棘手安裝與系統優化。
什麽是 TONiC UHV？
TONiC UHV 將 Renishaw 的輕巧型非接觸式光學尺系統引進超高真空應用，為客戶提供更卓越的運動控制性能。
TONiC 如與 Ti 介面結合，在線性和旋轉應用中，均可達到 10 m/s 的速度和低至 1 nm 的解析度。TONiC 系統安裝快速簡便，提供寬鬆的安裝公差，按下按鈕即可進行校正。TONiC 的動態訊號處理功能可改善訊號穩定性，細分誤差通常超低，不到 ±30 nm，有助於實現優異的運動控制效能。
什麼是 REXM20 環？
REXM20 為一體式不鏽鋼環，具有的 20 µm 刻矩增量刻度直接標示於周圍，其具備 IN-TRAC™ 光學參考原點。REXM20 擁有大截面，可將安裝錯誤減至最低，但偏心率例外，這種錯誤可使用 DSi（雙訊號介面）及雙讀頭輕鬆補正。REXM20 的整體安裝精度高達 ±1 弧秒，具備零連接損失特性和絕佳的重複性。
REXM20 有多種尺寸可供選擇（Ø52 mm 至 Ø417 mm）與刻線數，全部均具備大內徑，可進行彈性整合。非接觸式格式能消除反向間隙、軸扭曲（扭轉）及其他傳統封閉式光學尺固有的機械遲滯錯誤。
為什麼選擇這種光學尺系統？
超高真空 (UHV)
TONiC UHV 讀頭將標準 TONiC 的優異性能引入讀頭。TONiC UHV 讀頭在設計及建造上運用了 UHV 相容材質及加工技術，適合用於精細至 10 -10 Torr 的 UHV 條件。
TONiC UHV 光學尺及配件系列由真空相容材質及黏著劑製成，具備低放氣率並經過受證實的無塵殘留氣體分析 (RGA)，適用於許多用途，包括晶片搬運／測試、科學儀器、光譜儀、真空檢驗設備等更多其他應用。
超高安裝精度
REXM20 具備兩個 TONiC 讀頭及一個 TONiC DSi（雙訊號介面），故能達到極致的角度量測性能，提供絕佳的重複性及零連接損失特性，整體安裝精度優於 ±1 弧秒。REXM20 的大截面設計可將安裝錯誤減至最低，但偏心率例外，這種錯誤可使用 TONiC 雙讀頭的聯合輸出輕鬆補正。用 DSi 解決偏心率問題後，就只剩下刻度和 SDE，而此兩者的誤差都極小。
優異的量測功能
TONiC 光學尺配備 Renishaw 獲市場肯定的過濾光學鏡組與進階訊號處理功能。自動增益控制 (AGC) 及自動偏置控制 (AOC) 技術降低讀頭內的類比訊號雜訊與數位抖動。
TONiC 光學尺提供絕佳的 <±0.5 nm RMS 的低訊號輸出抖動及 <±30 nm 的低細分誤差 (SDE)，使系統能夠更妥善維持位置並在線性馬達應用中產生較少熱能。低抖動亦使得低速下的高精度應用能展現更平順的速度控制。
彈性配置
TONiC 系列提供各種能夠設定的外部介面以滿足應用的速度和解析度需求。藉由外部介面的後期整合與配置，多功能 TONiC 讀頭為終端使用者提供許多自訂選項。
TONiC 介面選項能進行數位、類比輸出或數位及類比訊號的雙輸出。TD（雙解析度）介面提供可選擇的雙解析度輸出，也提供於寬幅列印應用的 DPI 介面。TONiC 光學尺配置的彈性使 OEM 能在各種應用領域中受惠於優異的運動控制及高產量。
介面選項
TD（雙解析度）介面
- 可選擇雙解析度正交輸出。
- 介面選項適合需要高速運動的應用，結合更精密精度的運動。
DOP（雙輸出）介面
- 提供同步數位正交及 1Vpp 訊號。
- 此介面在設計上適合用於須透過運動軸，將一或多項作業進行同步的應用。
DSi（雙訊號介面）
- Renishaw 的 DSi 結合來自 REXM20 環（局部旋轉應用則採用 REXT20 環）上 TONiC 雙讀頭的增量訊號，以補償軸承晃動產生的影響，並消除奇數諧波誤差（包含偏心率），提供一般為 ±2.0 弧秒的整體安裝精度。
選配診斷工具組
可採用 TONiC 軟體優化 TONiC 光學尺的安裝，提供快速全面的系統校準。必須將軟體與 TONiC 診斷硬體一起使用，即可使用 A-9411-0011 零件訂貨號從 Renishaw 購買。可透過 USB 線（於套件中提供）或客戶線上電子裝置連接硬體與電腦。
瞭解所有關於 TONIC 診斷工具組的資訊。
技術規格
量測標準 | REXM20：一體式超高精度不鏽鋼環 亦提供適用於局部旋轉應用的 REXT20 |
讀頭尺寸（長 x 寬 x 高） | 35 mm x 13.5 mm x 10 mm |
柵距 | 20 μm |
| 熱膨脹係數（20 °C 時） | 15.5 ±0.5 μm/m/°C |
環外徑 | 52 mm 至 417 mm |
刻線數 | 8 192 至 65 536（依環尺寸而定） |
參考原點 | REXM20：單一 IN-TRAC 參考原點環 REXT20：雙參考原點環適用於局部旋轉應用 |
整體安裝精度（含 2 個讀頭） | （直徑 ≥ 100 mm）±1 弧秒 （直徑 75 mm）±1.5 弧秒 （直徑 ≤57 mm）±2 弧秒 |
最高速度 類比 數位 | （詳見規格手冊） -3 dB 時為 3673 rpm（位於 52 mm REXM20） 3673 rpm（位於 52 mm REXM20 時為 5 μm 解析度 TONiC） |
細分誤差 (SDE) | 一般低於 ±30 nm |
動態訊號控制 | 即時訊號調節，包括自動增益控制 (AGC) 及自動偏置控制 (AOC)，優化操作時的性能 |
增量訊號 類比 數位 | （若要瞭解角度解析度的詳細資訊，請參閱規格資料表） 1 Vpp（20 μm 週期） 解析度範圍為 5 μm 至 1 nm |
電氣連接 | 0.5 m、1 m、1.5 m、3 m、5 m 及 10 m 纜線長度及迷你接頭（直接連接 TONiC 介面） |
電源 | 5 V ±10%、< 100 mA（類比系統）、< 200 mA（數位系統）（無端接） |
| 讀頭耗電量 | < 100 mA |
振動（運作時） | 於 55 Hz 至 2 000 Hz 範圍達到最高速 100 m/s2 |
衝擊（非工作） | 1000 m/s2、6 ms、½ 正弦 |
工作溫度（系統） | 0 °C 至 +70 °C |
烘烤溫度（非操作） | 120 °C（僅限讀頭及光學尺） |
防護等級 | 讀頭：IP20 介面：IP20 |
纜線構造 | 鍍錫銅編單屏蔽、FEP 芯線絕緣體 |
請參閱規格手冊，了解詳細資訊。