TONiC™ 光學增量式光學尺系列
優異、精巧及多樣化的量測功能
TONiC 系列為輕巧型非接觸增量式光學尺系統,如與 Ti 介面結合,在線性、部分弧線和旋轉應用中均可達到 10 m/s 的速度和低至 1 nm 的解析度。讀頭中的進階過濾光學鏡組讓 TONiC 有非常低的抖動,可達成優異的位置穩定性與更平順的速度控制。
TONiC 光學尺亦可藉由低細分誤差 (SDE) 來提供極佳的訊號穩定性,有助於實現優異的運動控制效能。TONiC 系統具備整合式設定 LED ,有助於進行直覺高效的安裝作業,可相容於 Renishaw 的 ADTpro-100 診斷工具。
此外,TONiC™ 光學尺系列提供各種能夠設定的外部介面以滿足應用的速度和解析度需求。藉由外部介面的後期整合與配置,多功能 TONiC 讀頭為終端使用者提供許多自訂選項。
應用專屬版本光學尺包括 TONiC 超高真空 (UHV) 及 TONiC 功能安全 (FS)。
我們提供一系列可下載的技術文件,介紹 TONiC 光學尺系統的技術規格。
您需要量測哪種形式的運動?
線性(包括 UHV、FS)
光學尺類型 | 光學尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹係數(20 °C 時) | 供應長度 | 其他版本 |
不鏽鋼捲尺 | RTLC20 | ±5 µm/m | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 長達 10 m(可依要求供應 10 m 以上長度) | 超高真空,功能安全 |
不鏽鋼光學尺搭配選購的軌道
| RTLC20 與選購的 FASTRACK | ±5 µm/m | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 長達 10 m(可依要求供應 10 m 以上長度) | 超高真空,功能安全 |
ZeroMet™ 光學尺
| RELM20/RELE20 | ±1 µm 用於最多 1 m,則 ±1 µm/m | 20 µm | 0.75 ±0.35 µm/m/°C | 最長達 1.5 m | 超高真空,功能安全 |
不鏽鋼光學尺
| RSLM20/RSLE20/RSLC20 | ±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 最長達 5 m | 超高真空,功能安全 |
精細不鏽鋼捲尺
| RKLC20-S | ±5 µm/m | 20 µm | 以端蓋固定光學尺尾端時,能符合基板材質 | 長達 20 m(可依要求供應 20 m 以上長度) | 超高真空 |
部分弧線
光學尺類型 | 光學尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹係數(20 °C 時) | 供應長度 |
精細型不鏽鋼部分弧線光學尺 | RKLC20-S | ±5 µm/m | 20 µm | 10.1 ±0.2 μm/m/°C | 長達 20 m(可依要求供應 20 m 以上長度) |
旋轉(包括 UHV、FS)
光學尺類型 | 光學尺名稱 | 精度(視環直徑而定) | 柵距 | 熱膨脹係數(20 °C 時) | 環直徑 | 其他版本 |
不鏽鋼環
| RESM20/REST20 | 刻度精度:±3.97 至 ±0.38 弧秒 | 20 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52 至 550 mm | 超高真空,功能安全 |
超高精度不鏽鋼環
| REXM20/REXT20 | 安裝精度: (直徑 ≥ 100 mm)±1 弧秒 | 20 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52 至 417 mm | 超高真空 |
主要優點

極低抖動
極低訊號輸出抖動 (<±0.5 nm RMS) 及低細分誤差 (SDE) (<±30 nm)。

精細的解析度
超精細解析度達 1 nm。適用於需要精準速度與位置控制的應用。
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UHV 及 FS 版本
TONiC UHV 適用於超高真空應用,TONiC FS 則適用於需要 SiL2 與 PLd 功能安全認證的應用。
TONiC 光學尺於量測單位層級提供可重複精密度,讓我們享有更高彈性執行系統最佳化(包括參數補償)。
Sam-Jeong Automation(南韓)
選配的進階診斷工具 ADTpro-100

ADTpro-100 是一款獨立式掌上型光學尺診斷工具,內建彩色觸控螢幕,可協助系統設定及規劃維護作業,盡可能減少機器意外停機。ADTpro-100:
- 無需使用電腦或額外的設定設備,即可顯示全面且即時的光學尺資訊。
- 簡易直覺的操作方式搭配隨插即用功能,有助於系統設定及校正。
- 可透過介面連接選配的 ADT View 電腦軟體。ADT View 可用於更新 ADTpro-100 韌體。
歡迎探索我們的開放式光學尺系列,滿足您的工業自動化需求。