TONiC™ UHV 增量式光學尺系統搭配 RSLM20 線性光學尺
特性
- 讀頭尺寸:35 x 13.5 x 10 mm
- 能達到 1 nm 解析度
- 速度高達 10 m/s
- 類比或數位輸出
- 超低的細分誤差 (SDE):一般 < ±30 nm
- 光學 IN-TRAC™ 參考原點
優點
- 超高真空 (UHV)
- 高精度光學尺
- 超輕巧型編碼器具備動態訊號調節功能,能提高運動控制性能
- 提供診斷套件協助處理棘手安裝與系統優化。
![網站橫幅的透明修補程式](/media/img/gen/4efef74a4adf4781888859de0d5ea48b.png)
什麽是 TONiC UHV?
TONiC UHV 將 Renishaw 的輕巧型非接觸式光學尺系統引進超高真空應用,為客戶提供更卓越的運動控制性能。
TONiC 如與 Ti 介面結合,在線性和旋轉應用中,均可達到 10 m/s 的速度和低至 1 nm 的解析度。TONiC 系統安裝快速簡便,提供寬鬆的安裝公差,按下按鈕即可進行校正。TONiC 的動態訊號處理功能可改善訊號穩定性,細分誤差通常超低,不到 ±30 nm,有助於實現優異的運動控制效能。
什麼是 RSLM20 光學尺?
RSLM20 為不鏽鋼光學尺,具有 20 µm 刻矩及多種 IN-TRAC 光學參考原點可選擇,包括遵照客戶選擇而定期間隔,或是中央或尾端的單一參考原點。
RELM20 可媲美精細刻距玻璃光學尺,提供的整體精度(包括斜率與線性度)在長度超過 5 m 的情況下優於 ±4 μm。也可將其捲成圈,收納攜帶更為容易,解開後即可作為光學尺使用。
系統設計師可選擇特別配製的膠帶或機械夾片滿足安裝需求。兩種安裝方式均可供基板單獨進行熱膨脹。
為什麼選擇這種光學尺系統?
超高真空 (UHV)
TONiC UHV 讀頭將標準 TONiC 的優異性能引入讀頭。TONiC UHV 讀頭在設計及建造上運用了 UHV 相容材質及加工技術,適合用於精細至 10 -10 Torr 的 UHV 條件。
TONiC UHV 光學尺及配件系列由真空相容材質及黏著劑製成,具備低放氣率並經過受證實的無塵殘留氣體分析 (RGA),適用於許多用途,包括晶片搬運/測試、科學儀器、光譜儀、真空檢驗設備等更多其他應用。
結合堅固耐用的可靠度及更高的精度
TONiC RSLM20 系統如捲尺般方便運用、堅固耐用且容易使用,精度高於玻璃光學尺,適用於長距離高性能的軸。
優異的量測功能
TONiC 光學尺配備 Renishaw 獲市場肯定的過濾光學鏡組與進階訊號處理功能。自動增益控制 (AGC) 及自動偏置控制 (AOC) 技術降低讀頭內的類比訊號雜訊與數位抖動。
TONiC 光學尺提供絕佳的 <±0.5 nm RMS 的低訊號輸出抖動及 <±30 nm 的低細分誤差 (SDE),使系統能夠更妥善維持位置並在線性馬達應用中產生較少熱能。低抖動亦使得低速下的高精度應用能展現更平順的速度控制。
彈性配置
TONiC 系列提供各種能夠設定的外部介面以滿足應用的速度和解析度需求。藉由外部介面的後期整合與配置,多功能 TONiC 讀頭為終端使用者提供許多自訂選項。
TONiC 介面選項能進行數位、類比輸出或數位及類比訊號的雙輸出。TD(雙解析度)介面提供可選擇的雙解析度輸出,也提供於寬幅列印應用的 DPI 介面。TONiC 光學尺配置的彈性使 OEM 能在各種應用領域中受惠於優異的運動控制及高產量。
介面選項
TD(雙解析度)介面
- 可選擇雙解析度正交輸出。
- 介面選項適合需要高速運動的應用,結合更精密精度的運動。
DOP(雙輸出)介面
- 提供同步數位正交及 1 Vpp 訊號。
- 此介面在設計上適合用於須透過運動軸,將一或多項作業進行同步的應用。
選配診斷工具組
![TONiC™ 診斷工具組(軟體及硬體)](/media/img/gen/3272889eea984c08aa45c86c6c18f4ff.jpg)
可採用 TONiC 軟體優化 TONiC 光學尺的安裝,提供快速全面的系統校準。必須將軟體與 TONiC 診斷硬體一起使用,即可使用 A-9411-0011 零件訂貨號從 Renishaw 購買。可透過 USB 線(於套件中提供)或客戶線上電子裝置連接硬體與電腦。
瞭解所有關於 TONIC 診斷工具組的資訊。
技術規格
量測標準 | RSLM20:高精度不鏽鋼光學尺 亦提供具備端點參考原點的 RSLE20,以及具備可選擇參考原點的 RSLC20 |
讀頭尺寸 (LxWxH) | 35 mm x 13.5 mm x 10 mm |
柵距 | 20 μm |
熱膨脹係數(20 °C 時) | 10.1 ±0.2 μm/m/°C |
精度等級(20°C 時) | ±1.5 μm 達到 1 m、±2.25 μm 達到 2 m、±3 μm 達到 3 m、±4 μm 達到 5 m,校正可追溯至國際標準 |
參考原點 | IN-TRAC 參考原點 多種參考原點位置選項,請參閱規格資料表 |
限位開關 | 雙或單限位(可於訂購時選擇) |
光學尺長度 | 80 mm 至 5 m |
最高速度 類比 數位 | (詳見規格手冊) 於 -3 dB 時最高達 10 m/s 達到 10 m/s |
細分誤差 (SDE) | 一般低於 ±30 nm |
動態訊號控制 | 即時訊號調節,包括自動增益控制 (AGC) 及自動偏置控制 (AOC),優化操作時的性能 |
增量訊號 類比 數位 | 1 Vpp(20 μm 週期) 解析度範圍為 5 μm 至 1 nm |
電氣連接 | 0.5 m、1 m、1.5 m、3 m、5 m 及 10 m 纜線長度及迷你接頭(直接連接 TONiC 介面) |
電源 | 5 V ±10%、< 100 mA(類比系統)、< 200 mA(數位系統)(無端接) |
讀頭耗電量 | < 100 mA |
振動(運作時) | 55 Hz 至 2,000 Hz 範圍內最高速可達 100 m/s2 |
衝擊(非工作) | 1000 m/s2、6 ms、½ 正弦 |
工作溫度(系統) | 0 °C 至 +70 °C |
烘烤溫度(非操作) | 120 °C(僅限讀頭及光學尺) |
防護等級 | 讀頭:IP20 介面:IP20 |
纜線構造 | 鍍錫銅編單屏蔽、FEP 芯線絕緣體 |
請參閱規格手冊,了解詳細資訊。