TONiC™ UHV 增量式光學尺系統搭配 RELM20 線性光學尺
特性
- 讀頭尺寸：35 x 13.5 x 10 mm
- 能達到 1 nm 解析度
- 速度高達 10 m/s
- 類比或數位輸出
- 超低的細分誤差 (SDE)：一般 < ±30 nm
- 光學 IN-TRAC™ 參考原點
優點
- 超高真空 (UHV)
- 極高的精度與幾近零的熱膨脹係數
- 超輕巧型編碼器具備動態訊號調節功能，能提高運動控制性能
- 提供診斷套件協助處理棘手安裝與系統優化。
什麽是 TONiC UHV？
TONiC UHV 將 Renishaw 的輕巧型非接觸式光學尺系統引進超高真空應用，為客戶提供更卓越的運動控制性能。
TONiC 如與 Ti 介面結合，在線性和旋轉應用中，均可達到 10 m/s 的速度和低至 1 nm 的解析度。TONiC 系統安裝快速簡便，提供寬鬆的安裝公差，按下按鈕即可進行校正。TONiC 的動態訊號處理功能可改善訊號穩定性，細分誤差通常超低，不到 ±30 nm，有助於實現優異的運動控制效能。
什麼是 RELM20 光學尺？
20 µm 刻矩 RELM20 為由 ZeroMet™ 製成的光學尺。ZeroMet™ 為一種低膨脹係數鎳/鐵合金。
RELM20 可媲美精細刻距玻璃光學尺，提供的整體精度（包括斜率與線性度）在長度超過 1.5 m 的情況下優於 ±1 μm。ZeroMet 在溫度 20 °C 時的熱膨脹係數為 0.75 ±0.35 μm/m/°C。
系統設計師可選擇特別配製的 UHV 相容膠帶或機械夾片滿足安裝需求。兩種安裝方式均可供基板單獨進行熱膨脹。
為什麼選擇這種光學尺系統？
超高真空 (UHV)
TONiC UHV 讀頭將標準 TONiC 的優異性能引入讀頭。TONiC UHV 讀頭在設計及建造上運用了 UHV 相容材質及加工技術，適合用於精細至 10 -10 Torr 的 UHV 條件。
TONiC UHV 光學尺及配件系列由真空相容材質及黏著劑製成，具備低放氣率並經過受證實的無塵殘留氣體分析 (RGA)，適用於許多用途，包括晶片搬運／測試、科學儀器、光譜儀、真空檢驗設備等更多其他應用。
攜帶容易
RELM20 ZeroMet 低熱膨脹光學尺的截面遠小於普通玻璃光學尺，搬運和安裝更簡單，沒有破損的危險，因此特別適合用於最嚴苛的精密度應用。
優異的量測功能
TONiC 光學尺配備 Renishaw 獲市場肯定的過濾光學鏡組與進階訊號處理功能。自動增益控制 (AGC) 及自動偏置控制 (AOC) 技術降低讀頭內的類比訊號雜訊與數位抖動。
TONiC 光學尺提供絕佳的 <±0.5 nm RMS 的低訊號輸出抖動及 <±30 nm 的低細分誤差 (SDE)，使系統能夠更妥善維持位置並在線性馬達應用中產生較少熱能。低抖動亦使得低速下的高精度應用能展現更平順的速度控制。
彈性配置
TONiC 系列提供各種能夠設定的外部介面以滿足應用的速度和解析度需求。藉由外部介面的後期整合與配置，多功能 TONiC 讀頭為終端使用者提供許多自訂選項。
TONiC 介面選項能進行數位、類比輸出或數位及類比訊號的雙輸出。TD（雙解析度）介面提供可選擇的雙解析度輸出，也提供於寬幅列印應用的 DPI 介面。TONiC 光學尺配置的彈性使 OEM 能在各種應用領域中受惠於優異的運動控制及高產量。
介面選項
TD（雙解析度）介面
- 可選擇雙解析度正交輸出。
- 介面選項適合需要高速運動的應用，結合更精密精度的運動。
DOP（雙輸出）介面
- 提供同步數位正交及 1 Vpp 訊號。
- 此介面在設計上適合用於須透過運動軸，將一或多項作業進行同步的應用。
選配診斷工具組
可採用 TONiC 軟體優化 TONiC 光學尺的安裝，提供快速全面的系統校準。必須將軟體與 TONiC 診斷硬體一起使用，即可使用 A-9411-0011 零件訂貨號從 Renishaw 購買。可透過 USB 線（於套件中提供）或客戶線上電子裝置連接硬體與電腦。
瞭解所有關於 TONIC 診斷工具組的資訊。
技術規格
量測標準 | RELM20：具備中點參考原點的高精度 ZeroMet 光學尺 亦提供具備端點參考原點的 RELE20 |
讀頭尺寸 (LxWxH) | 35 mm x 13.5 mm x 10 mm |
柵距 | 20 μm |
熱膨脹係數（20 °C 時） | 0.75 ±0.35 μm/m/°C |
精度等級（20°C 時） | 驗證為最高可達 ±1 μm，校正可追溯至國際標準 |
參考原點 | IN-TRAC 參考原點 多種參考原點位置選項，請參閱規格資料表 |
限位開關 | 雙或單限位（可於訂購時選擇） |
光學尺長度 | 20 mm 至 1.5 m |
最高速度 類比 數位 | （詳見規格手冊） 於 -3 dB 時最高達 10 m/s 達到 10 m/s |
細分誤差 (SDE) | 一般低於 ±30 nm |
動態訊號控制 | 即時訊號調節，包括自動增益控制 (AGC) 及自動偏置控制 (AOC)，優化操作時的性能 |
增量訊號 類比 數位 | 1 Vpp（20 μm 週期） 解析度範圍為 5 μm 至 1 nm |
電氣連接 | 0.5 m、1 m、1.5 m、3 m、5 m 及 10 m 纜線長度及迷你接頭（直接連接 TONiC 介面） |
電源 | 5 V ±10%、< 100 mA（類比系統）、< 200 mA（數位系統）（無端接） |
| 讀頭耗電量 | < 100 mA |
振動（運作時） | 55 Hz 至 2,000 Hz 範圍內最高速可達 100 m/s2 |
衝擊（非工作） | 1000 m/s2、6 ms、½ 正弦 |
工作溫度（系統） | 0 °C 至 +70 °C |
烘烤溫度（非操作） | 120 °C（僅限讀頭及光學尺） |
防護等級 | 讀頭：IP20 介面：IP20 |
纜線構造 | 鍍錫銅編單屏蔽、FEP 芯線絕緣體 |
請參閱規格手冊，了解詳細資訊。