光学式エンコーダのケーススタディおよびアプリケーションノート
ケーススタディ: エレクトロニクス
![Lasing](/media/img/gen/77a084f1c0db4008bb4ac938bf1f95c4.jpg)
Lasing Microsystem 社は、フォトニクス製品に使われる技術分野におけるリーディング企業である。レニショーが、高精度エンコーダを供給している。
![Stage for automatic optical inspection (AOI) of flat panel displays (FPD)](/media/img/gen/0fe566885d234416a0f18be84c7bc321.jpg)
真空技術は、多くの精密製造工程で活用されている。例えば一般的な例として、半導体ウェハの検査、ウェハの接合、フォトリソグラフィ、薄膜の蒸着などが挙げられる。VAD 社は、自社の真空対応プラットフォーム用に TONiC UHV エンコーダを採用した。
![PCB under test](/media/img/gen/14341bc893864043a997442549e50be9.jpg)
高周波エレクトロニクス製品の大量生産には、高性能の PCB インピーダンス測定機が求められる。精密機械メーカーの Sam-Jeong Automation 社は、次世代プリント基板インピーダンス測定機に求められる速度、精度そして繰り返し再現性を確保するために TONiC™ を採用している。
![Scodix Ultra™ digital enhancement printing presses](/media/img/gen/2b90564fb26143409f1f740c1fd1fc0e.jpg)
レニショーの TONiC は、グラフィックアート業界向けのデジタルエンハンスメントプリントプレスの製造において市場をリードする Scodix 社にとって手軽なソリューションとなった。このエンコーダにより、Scodix Ultra シリーズに採用されている特許取得の印刷基板搬送システムの自動フィードバック制御が実現した。
![フラットパネルディスプレイ](/media/img/zh/3e39ac99736649be82ac4805745476d7.jpg)
モーションコントロールコンポーネントの製造大手の TPC Motion (TPC) 社 (韓国) は、複数の X と Y 軸上にレニショーの ATOM™ 超小型リニアエンコーダシステムを搭載したレーザーアパーチャストップ (光学スリット) アセンブリを開発した。
![顕微鏡の微小位置決め](/media/img/gen/8b3c6e03defa405cae20e3ee6d9c1720.jpg)
多種多様なフォトニクス装置の設計および製造を行う Thorlabs 社では、レニショーのエンコーダがすべての試験で他社製品を上回る結果を出したことを受け、長さ 600mm の DDS600 移動ステージと MLS203 顕微鏡ステージの両方に TONiC の採用を決定した。
![RSS ITRI case study](/media/img/gen/98bf4dfb4506484897379d01cef00b59.jpg)
台湾の Industrial Technology Research Institute (ITRI) 社は、高度な 2 軸ロータリテーブルを開発することで、多軸工作機械の技術トレンドに対応している。このロータリテーブルには、Panasonic シリアル通信プロトコルと RESOLUTE が組み込まれている。
![RSS image: Wire bonding on a silicon chip](/media/img/gen/47d1a47b63e5459f9048561afe5ebb48.jpg)
半導体業界向けのウェハアセンブリとパッケージング機器を製造する世界最大のメーカー、ASM Pacific Technology Ltd (ASMPT) 社は、完全な FA ソリューションを提供することと、コスト効果に優れた革新的な製品により顧客のニーズを満たすことを目指している。
![RSS 画像: ALIO Industries のナノモーションステージ - True Nano™ モーションステージと TONiC 光学式エンコーダ](/media/img/gen/c6db5ef597104c1a8361459297f69ab3.jpg)
バイオメディカル、半導体、太陽光発電に活用されるナノモーションステージで著名な ALIO Industries 社は、レニショーのエンコーダを活用して、True Nano™ モーションシステムソリューションの駆動に必要な精度と繰り返し精度を確保している。
ケーススタディ: 精密加工
![Mr Ranganatha, Director of Tool Grinding Technologies Inc.](/media/img/gen/7ad59c969a054aba8ce5593286e24035.jpg)
テストと評価を経て、TGT 社が自社の最新工具研削盤に採用を決めたのが、レニショーの FORTiS™ クローズドタイプエンコーダである。その背景には、FORTiS の取付け易さなどの特徴がある。
![KOVERY linear motor](/media/img/gen/25e03dd8c1bd4d26a360ddf954ab4ec6.jpg)
高度な産業プロセスは等速制御がないと成り立たない。だが、従来のようなモータ設計だとコギング力が発生し、このコギング力によってモータ速度にリップルが生じる。KOVERY 社は先進的なリニアモータを設計しているが、この問題を解決するためにレニショー製エンコーダを採用している。
![Renishaw TONiC series high-performance encoder system](/media/img/gen/9d60ff83d35449f98d9f25cfc0cd4373.jpg)
U-Precision 社は、北京に拠点を構える、精密産業装置製造におけるマーケットリーダー企業だ。同社の高性能半導体装置やモーションステージには、レニショーの TONiC が採用されている。
![Haozhi’s direct-drive rotary tables are fitted with RESOLUTE series absolute encoders to enhance motion control accuracy](/media/img/gen/fda075f86466476897159bec134ea246.jpg)
Haozhi 社はダイレクトドライブロータリテーブルやリニアモータを製造している企業だ。これらの製品だけでなく、同社はレニショー製の光学式エンコーダを採用することで競合を凌ぐ製品を世に送り出している。
![JUSTEK JTR49 series DDR motor](/media/img/gen/5971731348114d5893b28f3e336234fa.jpg)
モーションコントロールシステムは FPD 製造装置にとって不可欠な存在だ。製造精度確保の重責を担う。韓国発の JUSTEK 社は、レニショー製高性能光学式ポジションエンコーダを用いて、カスタム可能なダイレクトドライブモータを多数開発し、成功を収めている。
![ATOM™ optical encoder in a mini rotary platform application](/media/img/gen/e73dd96bb3ca421eb5646781fc743eca.jpg)
Chieftek Precision 社は、競合に負けない高性能な DD モータを製造しているが、その一助になったのがレニショーのコンパクトエンコーダである。
![Index angle measurement with Renishaw’s XR20-W](/media/img/gen/8b22ed33775640269ec65c36a2b360ea.jpg)
NC ロータリテーブルは複合加工機のパフォーマンスにおいて重要な役割を担う。テーブルの精度と信頼性が製品寿命中で極めて重要な意味を持つため、キャリブレーション製品とエンコーダを見直し、割り出し誤差の低減と性能の向上を図った。
![DUKIN’s Technical Manager, Mr Tae Young Ku](/media/img/gen/95b6ca7364914b8793c98f2544045472.jpg)
堅牢な機械設計と位置フィードバックで測定誤差を最低限に抑えている三次元測定機を DUKIN 社がどのように設計しているかを取り上げる。DUKIN 社の製品ラインナップがさまざまな精度や要件に対応すべく拡充されているが、それを支えるのがレニショー製エンコーダだ。
![SOLPOWER 社のチームグループ](/media/img/gen/eb4b60eeff8f40b99caa0a86bde46b3d.jpg)
SOLPOWER は、ダイレクトドライブ (DD) ロータリテーブル、一体型主軸モータ、リニアモータなどの工作機械用部品を製造する台湾のメーカーだ。DD 機構の高性能フィードバック制御には、レニショーの RESOLUTE エンコーダが貢献している。
![ATOM encoders installed on the REVO-2 measuring head: two readheads are used to correct for scale eccentricity.](/media/img/gen/01f4355697fd4b5fbbe730068b281911.jpg)
レニショーの三次元測定機用マルチセンサー 5 軸測定ヘッドの改良版、REVO-2 は、両軸 (ヨーとピッチ) に RCDM ガラス製ロータリ (角度位置決め用) スケールと ATOM インクリメンタルエンコーダを採用している。
![COORD-3 manufactures its CMM structures from aluminium alloy and silicon-carbide offering maximum metrology performance and productivity](/media/img/gen/f80f1f513122410589b4ddac517e0a8a.jpg)
継続的な製品開発活動、水平型組織構造と合理化された各モデルサイズにより、COORD-3 社は世界的な三次元測定機ブランドとしての地位を確立している。レニショーは、COORD-3 社にさまざまな高精度計測製品を提供しており、長年にわたって双方に有益な関係を継続している。
![Amicra Nova](/media/img/en/af6c7b2303904150978f76d4e95e1e98.jpg)
レニショーの RESOLUTE™ エンコーダは、マイクロエレクトロニクスやマイクロ光学産業に使用される高精度組立てシステムに求められる、最大の工程信頼性を保証する革新的な真のアブソリュート測定システムだ。
![Steinmeyer-FMD’s new air bearing gantry LLP without cover](/media/img/gen/56a5cad44bdb42e3817f957e734775ee.jpg)
モーションシステムの設計に際して、スピードと精度の間で妥協を強いられることが常だ。だが、Steinmeyer-FMD 社の新しい高精度多軸エアベアリングガントリシステムは、レニショーの高性能の TONiC™ 光学式インクリメンタルエンコーダを採用することで、このジレンマを解消した。
ケーススタディ: 科学、研究、分析
![One-metre main telescope at the Wise Observatory](/media/img/gen/1b298884ad6a487cb362ac59021ce5f5.jpg)
Wise Observatory (ワイズ天文台) は直径 1m におよぶリッチークレチアン式望遠鏡に RESOLUTE™ エンコーダを新たに採用した。位置決め精度と位置安定性を大幅に強化するためだ。
![Mirror platform with both in-air and in-vacuum motion stages](/media/img/gen/f4cccd85a25d4417a7311692bdf5bc0f.jpg)
フランスのテクノロジー企業 IRELEC Alcen 社は、世界各地のシンクロトロン施設向けに光学機械システムやロボットシステムを製造している。また、同社の強みは、X 線を目標物にフォーカスさせるカスタムミラーシステムの製造にある。同社によるシンクロトロンの改良には、レニショーの位置測定製品が貢献してきた。
![SYMETRIE 社の IA DEA ヘキサポッド](/media/img/gen/c3f8c98aea124010a7feb88047ba26cb.jpg)
レニショーの RESOLUTE エンコーダは、SYMÉTRIE 社の GICS (Ground Integration and Calibration Support) および IA DEA (Interferometry Assembly Detection Electronics Assembly) ヘキサポッドをサポートするに至った。これらのヘキサポットは、メテオサット第 3 世代 (MTG) 気象衛星の製造に使用される高度コンポーネント検証試験のために設計された。
![RSS 画像: Instron E3000 リニアトーション試験機](/media/img/gen/eb06b47b11d143bb9867b5650d628279.jpg)
Instron 社は、ElectroPuls™ E3000 全電気式試験装置の二軸モデルを展開している。ElectroPuls コントローラに対応でき、他のすべての条件をクリアできる光学式アブソリュートエンコーダは、1nm の位置決め分解能と 20m/s 以上の速度を備えたレニショーの RESOLUTE™ のみだ。
![Banner image: Astroimage from Astrosystem Austria using TONiC encoder](/media/img/gen/afb9c984597a452780918a419206eacd.jpg)
デジタル時代の到来により、天体写真技術も大きな進歩を遂げ、天文学者や天文台は地球からはるか離れた銀河でも観測できるようになった。現在では、アマチュア天文愛好者でもレニショーの技術にサポートされた Astrosysteme Austria (ASA) のシステムにより、手頃な価格でこれらはるか彼方の太陽系を観察して写真に収められるようになっている。
ケーススタディ: 航空機
![PAS antenna and gimbal assembly on the undercarriage of an aircraft](/media/img/gen/bc4ac20e47234683b82711e663f75579.jpg)
Pacific Antenna Systems (PAS) 社は、用途に応じたさまざまな電気機械設計のアンテナを製造している。そして、各動作軸 (ジンバル) には、絶対精度と繰り返し精度を確保するためにロータリエンコーダが取り付けられている。
![HAESL engine overhaul workshop](/media/img/gen/bc11d5b6ec5f4a629c3b2f4dccfd9be0.jpg)
民間航空機の燃費はご存知だろうか。ハニカムシールリングは航空機エンジンの燃費を向上することが知られているが、その測定は製造上の課題となっている。しかし、HAESL 社は、レニショーの TONiC リニアインクリメンタルエンコーダとロータリエンコーダを新しい光学式のシールリング測定システム (SRMS) に組み込むことでこの課題を克服した。
ケーススタディ: 医学、医療
![Pathological tissue sample on slide](/media/img/gen/b5b03ab41f1845589f077a7c9132acba.jpg)
世界最速/最高性能の自動パノラマデジタルスライドスキャナー「P1000」の設計および製造に携わる 3DHISTECH 社。この製品は大規模な病理検査室で医学サンプルの超高解像度イメージの取得に使用する高精度スキャナだ。レニショー製の VIONiC™ と LA11 が、P1000 が競合品よりも高精度かつ高繰り返し再現性で高速動作できる核を担っている。
アプリケーションノート
![Machine tool with the FORTiS encoder](/media/img/gen/338cede52f1642df81f930d85086a100.jpg)
FORTiS™ クローズドタイプエンコーダは、工作機械 OEM、エンドユーザー、サービス企業のニーズを満たす製品である。本アプリケーションノート 2 点では、FORTiS エンコーダの特徴とメリットについて考察する。
![SMT machine, Woodchester](/media/img/gen/ee0fe565b88748caa12d447fae657eb8.jpg)
本アプリケーションノートでは、表面実装技術の事例を取り上げ、また、現在広く使われている熱膨張がほぼゼロの高価なスケールよりもリニアスチールスケール (取付け先機材とは別々に熱膨張/収縮する) のほうが望ましい場合について考察する。
![Laser cutting machine application](/media/img/gen/1c41759a9aee4931b9a2e2b12c924e6b.jpg)
大判シートや金属シートの高精度切断にレーザーを用いるファイバレーザー加工に、RKL のようなレニショー製の機材一体型エンコーダスケールがどのように活用できるかについて考察する。
![ATOM encoders installed on the REVO-2 measuring head: two readheads are used to correct for scale eccentricity.](/media/img/gen/01f4355697fd4b5fbbe730068b281911.jpg)
本記事では、ATOM の製造に用いられた先進的製造技術について取り上げる。また、ATOM が優れた測定性能を発揮しつつ、REVO-2 製造工程の効率化にいかに貢献したのかの実例についても言及する。
![Laser microdrilling of square channels](/media/img/gen/732d1899f9a6422bacff039d38e9ae9b.jpg)
VIONiC エンコーダは微細加工などの精密製造プロセスへの使用に特化している。本記事では、レーザー加工にて適切なエンコーダを選定することがいかに重要かを記載する。
![CMM retrofit](/media/img/gen/4500c660118a4c47b889dfab7df5fe5c.jpg)
エンコーダシステムの選定時、スケールの熱特性は重要な検討事項だ。本記事では、マスタリングスケールが好ましいを思われる三次元測定機でのポジションエンコーダの事例を紹介する。
![Computer processor wafer macro](/media/img/gen/e354d8a2ce4b4c35904d5b8f24293ade.jpg)
この記事では近年のフォトリソグラフィにおける位置フィードバックの使用や最新の光学式エンコーダの潜在的な用途について触れている。また、性能を落とさずに機械のダウンサイズに貢献する従来のレーザーエンコーダについても触れる。
![Solar panel on roof](/media/img/gen/835f645cc2d047a3aa9d38f5fefb4059.jpg)
太陽光は、主要な発電源になる可能性が高く、太陽光発電には多くの商機が見込める。太陽電池セルの製造工程に、すべての段階でモーションコントロールが不可欠だ。この記事では、太陽電池セルのさらなる技術革新と高度化においてエンコーダとモーションコントロールが果たす役割について検討する。
![オールインワン形式の VIONiC デジタルエンコーダシリーズ](/media/img/gen/440552dea7454ec3a4f5814e5b5d0035.png)
VIONiC™ は、オールインワン形式の超高精度デジタルインクリメンタルエンコーダである。この記事では、特に、微細加工、微小位置決め、精密工学部品製造といった分野での、高性能エンコーダシステムの重要な役割について検討する。
![ACS test stage with RESOLUTE™ encoder onboard](/media/img/gen/b3ad6a9bf12f4cdb926de5c995aef3dc.jpg)
機械全体の設計においてエンコーダの性能を評価する際には、制御ループの構造が重要な検討事項だ。そして、高精度モーションステージの設計における不安定性を軽減する方法は無数にある。この記事では、従来から超ファインピッチのインクリメンタルエンコーダを必要としてきた場面での、RESOLUTE™ エンコーダの可能性を検討する。
![FANUC robotic arm with RESOLUTE absolute rotary encoders on the rotary axes (Image © FANUC)](/media/img/gen/ab9acbc92e9649d79ce0776cdfda7b4c.jpg)
RESOLUTE FS (Functional Safety: 機能安全) エンコーダは、RESOLUTE シリーズと同等の優れた性能を発揮するだけでなく、世界でも最も厳しい機能安全の基準に準拠しているという安心感を提供する。RESOLUTE エンコーダは、最新鋭の協働ロボットや産業用製造技術にも今では活用されるようになっている。
![LiDAR scanning in action (no text)](/media/img/gen/3f3bc2cc7cb340048c29be74dff6001e.jpg)
世界の大手 LiDAR (Light Detection and Ranging: 光による検知と測距) メーカーの多くが、レニショーの高性能光学式エンコーダを搭載した車載型 LiDAR レーザースキャニングシステムを開発しており、道路地図の作成と調査を目的とする高精度の三次元測定データを提供している。