Многоосевой перископ RMAP
Обеспечивает возможность измерения по шести степеням свободы при использовании двухкоординатного стола за счет минимизации площади контакта лучей от нескольких интерферометров. При использовании трех головок интерферометра RLD10-X3-DI многоосевой перископ позволяет с высокой точностью измерять крен, рысканье и линейное положение.
Благодаря угловому диапазону ±30 угловых секунд многоосевой перископ совместим со многими прецизионными столами и позволяет повысить эффективность их работы. Единственная установочная поверхность позволяет быстро и удобно устанавливать перископ на вакуумную камеру или метрологическую стойку.
При использовании головки RLD10-X3-DI для угловых измерений погрешности, возникающие из-за колебаний частоты лазера и изменчивости окружающей среды, становятся одинаковыми для обеих траекторий лучей. Это повышает точность и повторяемость по сравнению с методом определения угловых отклонений по двум независимым лучам.
Особенности и преимущества
- Минимальная площадь контакта луча – всего 18 мм на 35 мм. Это позволяет использовать целевые зеркала минимальных размеров и массы.
- Простота установки — устройство рассчитано на установку непосредственно на наружную поверхность вакуумной камеры и крепится всего четырьмя болтами.
- Высокая эффективность — использование независимых головок RLD10-X3-DI повышает точность и повторяемость измерений по сравнению с традиционными методами.
Информация о товаре
Наши интересные продукты
