Интерферометр RLD10 с плоским зеркалом

Интерферометры с плоским зеркалом, пригодные для систем с двухкоординатным столом

Детекторные головки RLD10 включают в себя интерферометрическую оптику, уникальную многоканальную систему обнаружения интерференционных полос, лазерный затвор и встроенное устройство для юстировки лазерного пучка. Доступны обе версии детекторной головки: с углом поворота 0° и 90°.

Особенности и преимущества

  • Двухосевые системы – двухосевые системы с плоским зеркалом являются идеальным решением для систем с двухкоординатным столом.
  • Высокое разрешение – системы с плоским зеркалом могут также использоваться в тех случаях, когда требуется более высокое разрешение по сравнению с ретрорефлекторными системами.
  • Чувствительные среды – детекторные головки интерферометров с плоским зеркалом также доступны в маломощном исполнении. Подходит для систем, для которых рассеиваемая мощность должна быть менее номинального значения 2 Вт стандартной системы RLD10.
Детекторные головки RLD с зеркалами

Технические характеристики

Перемещения по осям0–1 м
Разрешение (сконфигурировано с помощью RLU)

Аналоговый квадратурный = λ/4 (158 нм)
Цифровой квадратурный = 10 нм
Разрешение RPI20 = 38,6 пм

Ошибка нелинейности системы* (SDE)

*исключая интерфейс

<±2,5 нм менее 50 мм/с с >70% мощностью сигнала
<±7,5 нм при 1 м/с с >50% мощностью сигнала
Максимальная скоростьДо 1 м/с


При использовании системы в средах, отличных от вакуума, требуется компенсация изменения коэффициента преломления воздуха для обеспечения постоянной точности измерений при изменяющихся параметрах окружающей среды. С этой целью компания Renishaw предлагает систему RCU10, обеспечивающую компенсацию квадратурных сигналов в реальном времени.

При использовании параллельного интерфейса RPI20 в системе RLE можно получать разрешение до 38,6 пикометров. Этот интерполятор преобразует дифференциальные аналоговые сигналы 1 Vpp (синусоидальные/косинусоидальные) в параллельный выходной сигнал. Дополнительную информацию о наших принадлежностях см. в разделах система компенсации RCU10 и интерфейсы лазерного энкодера.

Информация о товаре

Наши интересные продукты

RLU10
Лазерный блок RLE
Лазерный блок RLU выпускается как в одноосевом, так и в двухосевом исполнении. Этот блок включает в себя гелий-неоновый лазер, электронные модули стабилизации, оптоволоконную систему передачи лазерного излучения и электронную систему обратной связи по положению на оси.
Детекторная головка RLD10 90°
Интерферометр RLD10 с уголковыми отражателями
RLD10-RRI (интерферометр с уголковыми отражателями) представляет собой однопроходный интерферометр, сконфигурированный для систем, для которых требуется ретрорефлектор (например, систем с более длинными осями или высокими скоростями).
Дифференциальный интерферометр RLD10-X3-DI и зеркала
Дифференциальный интерферометр RLD10
RLD10 DI (дифференциальный интерферометр) представляет собой двухпроходный интерферометр, предназначенный для выполнения дифференциальных измерений. Идеально подходит для систем с вакуумными камерами.
Детекторная головка RLD10 0°
RLD10, без внутреннего интерферометра
Детекторная головка RLD10-XX (внутренний интерферометр не предусмотрен) не имеет внутренней интерферометрической оптики. Это позволяет последовательно использовать головку со специальной оптикой для выполнения линейных, угловых измерений и выверки прямолинейности.