Интерферометр RLD10 с уголковыми отражателями
Интерферометры с уголковыми отражателями, пригодные для систем с длинными осями и высокой скоростью.
Детекторные головки RLD10 включают в себя интерферометрическую оптику, уникальную многоканальную систему обнаружения интерференционных полос, лазерный затвор и встроенное устройство для юстировки лазерного пучка. Доступны обе версии детекторной головки: с углом поворота 0° и 90°.
Особенности и преимущества
- Технические решения для нескольких осей – одно- и двухосевые ретрорефлекторные системы идеальны для многоосевых систем
- Широкий диапазон осей и высокая скорость – детекторные головки интерферометра с уголковыми отражателями позволяют работать с системами с более длинными осями или более высокими скоростями, для которых интерферометр с плоским зеркалом не подходит.
- Чувствительные среды – устройство также доступно в маломощном исполнении, подходит для систем, для которых рассеиваемая мощность должна быть менее номинального значения 2 Вт стандартной системы RLD10.
Технические характеристики
| Перемещения по осям | 0–4 м |
| Разрешение (сконфигурировано с помощью RLU) | Аналоговый квадратурный = λ/2 (316 нм) |
Ошибка нелинейности системы* (SDE) *исключая интерфейс | <±5 нм менее 100 мм/с с >70% мощностью сигнала <±13 нм при 2 м/с с >50% мощностью сигнала |
| Максимальная скорость | До 2 м/с |
Для осей длиной более 4 м см нашу лазерную энкодерную систему HS20, которая работает с осями длиной до 60 м.
При использовании системы в средах, отличных от вакуума, требуется компенсация изменения коэффициента преломления воздуха для обеспечения постоянной точности измерений при изменяющихся параметрах окружающей среды. С этой целью компания Renishaw предлагает систему RCU10, обеспечивающую компенсацию квадратурных сигналов в реальном времени. Поставляемые компанией Renishaw ретрорефлекторы могут быть непригодны для использования в условиях вакуума или близких к вакууму.
При использовании параллельного интерфейса RPI20 в системе RLE можно получать разрешение до 38,6 пикометров (схема с плоскими зеркалами). В случае цифровых выходных сигналов с более высоким разрешением серия REE интерполяторов компании Renishaw позволяет достигать разрешения до 0,395 нм (схема с плоскими зеркалами). Этот интерполятор преобразует дифференциальные аналоговые сигналы 1 Vpp (синусоидальные/косинусоидальные) в параллельный выходной сигнал. Дополнительную информацию о наших принадлежностях см. в разделах система компенсации RCU10 и интерфейсы лазерного энкодера
Информация о товаре
Наши интересные продукты
