Зеркала и оптика

Плоские зеркала

Поставляемые компанией Renishaw плоские зеркала производятся на стеклянной подложке с низким тепловым расширением и имеют твердое диэлектрическое оксидное покрытие.

Особенности и преимущества

• Термическая устойчивость – изготовление на подложке с низким тепловым расширением минимизирует ошибки, связанные с изменениями окружающей среды.
• Высокая степень отражения – высокоотражающая зеркальная поверхность (>97%) обеспечивает высочайшую эффективность измерений.
• Простой монтаж – предлагаемые компанией Renishaw крепления для зеркал обеспечивают лёгкую установку и юстировку.

Размеры

Технические характеристики

Плоские зеркала имеют индивидуальные размеры и конфигурацию, поэтому они поставляются только по специальному заказу и для них может потребоваться более долгий срок изготовления с ограничением минимального количества в заказе. В противном случае можно использовать лист технических данных внизу этой страницы, чтобы приобрести изделия на месте.

Крепления для зеркал

Чтобы установить и правильно выровнять зеркала на системе перемещения компания Renishaw также предлагает регулируемые крепления, используемые с зеркалами длиной до 350 мм, с поперечным сечением 25 мм x 25 мм.

С их помощью можно выполнить регулировку по углу рысканья с точностью ±2,5° и по углу тангажа с точностью ±1°. (Фактический диапазон регулировки зависит от длины зеркала.)

Особенности и преимущества

• Простота юстировки– встроенные механизмы регулировки по углу тангажа и рысканья ускоряют процесс юстировки зеркала.
• Надежное крепление – обеспечивается устойчивая опора для зеркала, одновременно позволяя ему термически расширяться в случае необходимости.
• Устранение ограничительных факторов – надежное крепление зеркала на двух поверхностях уменьшает нагрузки на зеркало и минимизирует риск изгиба после установки.

Поставляемые компанией Renishaw крепления не предназначены для использования в вакууме.

Окно вакуумной камеры 39 mm

В оптоволоконном лазерном энкодере RLE компании Renishaw интерферометрия используется для обеспечения высокого разрешения и линейной обратной связи.

Головка дифференциального интерферометра (RLD10-X3-DI) предназначена для монтажа на стенку вакуумной камеры. Через окно вакуумной камеры лазерный пучок проходит между головкой детектора и измерительным зеркалом. В тех случаях, когда для выполнения измерений в вакуумной камере требуется система RLD, окна вакуумной камеры можно также использовать с другими вариантами головки интерферометра, например, совместимого с вакуумом интерферометра RVI20.

Хотя компания Renishaw не производит окна вакуумной камеры, она поставляет окно вакуумной камеры 39 мм стороннего производства по индивидуальным требованиям заказчика для обеспечения максимальной эффективности работы системы RLE.

Рекомендации по монтажу

Компания Renishaw рекомендует следующее при монтаже окна камеры на стенке камеры.

• При монтаже окно не должно находиться под воздействием растягивающих сил, которые могут вызвать его деформацию и отклонение луча от номинала.
  
• Как минимум с одной стороны окна камеры должно быть установлено уплотнительное кольцо для создания и обеспечения уплотнения в стенке вакуумной камеры.

Перископ дифференциального интерферометра в сборе, 15 мм

Перископ увеличивает смещение между измерительным и опорным пучками детекторной головки дифференциального интерферометра RLD10-X3-DI.

В устройстве используется два зеркала для увеличения смещения на 15 мм, чтобы общий интервал составлял 29 мм (стандартное смещение RLD10-X3-DI составляет 14 мм).

Особенности и преимущества

• Увеличенное смещение – обеспечивается дополнительное смещение в 15 мм между измерительным и опорным пучками.
• Высокая степень отражения – благодаря высокоотражающим зеркалам минимизируется падение мощности сигнала между измерительным и опорным пучками.
• Стандартный монтаж – перископ обеспечивает стандартную установку головки дифференциального интерферометра.

Совместимый с вакуумом интерферометр RVI20

RVI20 – совместимый с вакуумом интерферометр для плоских зеркал, который, при использовании с детекторной головкой Renishaw RLD10-A3-XX, обеспечивает возможность выполнять измерение в вакуумной среде по заданной траектории без каких-либо отклонений на всем ее протяжении

Интерферометр RVI20 предназначен для установки в вакуумной камере; при этом лазерный пучок проходит от детекторной головки RLD10-A3-XX через окно камеры в интерферометр RVI20, попадая затем на плоское зеркало.

Особенности и преимущества

• Относительные измерения – имеется возможность выполнять относительные измерения между двумя деталями станка, например, инструментом и обрабатываемой деталью.
• Совместимость с вакуумом – возможность применения в высоковакуумных системах и установки в вакуумной камере.
• Высококачественная оптика – интерферометр RVI20 включает в себя высококачественный оптический блок Renishaw, обычно используемый в детекторной головке RLD.

Интерферометр RVI20 разработан для использования в лазерных энкодерных системах, где траектория измерения должна проходить в вакуумной среде.