Дифференциальный интерферометр RLD10

Головка дифференциального интерферометра имеет уникальную оптическую схему, которая обеспечивает низкую ошибку подразбиения (SDE). Встроенные устройства для юстировки лазерного пучка обеспечивают возможность регулировки по углу тангажа и рысканья, упрощая процесс юстировки (подходит только для систем с плоскими зеркалами).

Детекторная головка системы RLD10-X3-DI предусматривает монтаж на наружную стену технологической камеры с использованием простого крепления с тремя штырями. Входить в камеру для регулировки детекторной головки не требуется, поскольку встроенные устройства для юстировки позволяют выполнять независимую регулировку по углам тангажа и рысканья опорного и измерительного пучков. Конструкция крепежной системы такова, что детекторная головка может сниматься и устанавливаться обратно на свое место с минимальным нарушением юстировки системы.

Особенности и преимущества

• Исключительные метрологические характеристики – стабильность частоты лазерного излучения порядка ppb (частей на миллиард) и сверхнизкая циклическая ошибка, что позволяет достигать значения выходного разрешения вплоть до 38,6 пм.
• Конфигурация, обеспечивающая дифференциальные измерения – измерение смещения стола относительно станины и, следовательно, устранение ошибок обычного режима работы, например, смещения стенки камеры, вызываемого колебаниями параметров окружающей среды.
• Быстрая юстировка – простой процесс юстировки с наружной стороны вакуумной камеры с использованием четырёх встроенных устройств для юстировки, что позволяет соблюдать допуски для камеры и крепления зеркала.

Технические характеристики