RLU (光ファイバ送出機構内蔵のコンパクトレーザーユニット)

RLE システム

RLE システムは、位置決めフィードバックのために特別に設計した、レニショー独自の最先端ホモダインレーザー干渉計システムです。RLE システムは、RLU レーザーユニットと RLD10 ディテクタヘッドで構成されます。どのモデルを使用するかは、ニーズによって異なります。

1 軸 あるいは 2 軸構成が可能なレーザーユニットです。HeNe (ヘリウムネオン) レーザー光源、安定化電子回路、光ファイバ送出機構、および軸の位置決めフィードバック回路が組み込まれています。

RLU10 レーザーユニット

RLU10 は、1 時間以上の±50ppb のレーザー周波数安定性を誇ります。大気中測定の大半に適します。

特徴とメリット

RLU10 とレニショーディテクタヘッド (RLD) の組合せには、以下の特徴があります。

• シンプルなシステム構成 - レニショー独自の光ファイバ送出システムを採用
• 高速アライメント - RLD ディテクタヘッドにより、測定軸にレーザービームを直接取付け可能
• コンパクトで簡単セットアップ - 最小の取付け領域で最短時間で取付け可能

XY ステージでの使用

大気環境下での、XY ステージ測定に最適なレーザーエンコーダをお探しですか。RLU10 レーザーユニットと 2 個の RLD10-A3-P9 (90°平面鏡干渉計) ヘッドで構成される RLE10-DX-XG システムをご検討ください。

RLU20 レーザーユニット

RLU20 は、1 時間以上の±2ppb のレーザー周波数安定性を誇ります。真空環境の大半で、極めて優れた測定パフォーマンスを発揮します。

特徴とメリット

RLU20 とレニショーディテクタヘッド (RLD) の組合せには、以下の特徴があります。

• シンプルなシステム構成 - レニショー独自の光ファイバ送出システムを採用
• 高速アライメント - RLD ディテクタヘッドにより、測定軸にレーザービームを直接取付け可能
• コンパクトで簡単セットアップ - 最小の取付け領域で最短時間で取付け可能

ディファレンシャル測定での使用

真空環境下での、ディファレンシャル測定に最適なレーザーエンコーダをお探しですか。RLU20 レーザーユニットと 2 台の RLD10-X3-DI (ディファレンシャル干渉計) ヘッドで構成される RLE20-DX-XP システムをご検討ください。

RLE システムの構築

レニショーレーザーヘッドを変位干渉計として動作させるには、用途に適したヘッドと組み合わせる必要があります。RLE システムの構築時には、下記をご検討ください。

• レーザー光源 (RLU10 か RLU20)
• ファイバ長 3m または 6m (RLE10 のみ)
• 校正証明書 (オプション、有償発行)
• 平面鏡または反射鏡のターゲット光学部品
• 各軸に対する RLD ディテクタヘッドのタイプ
• 各軸のビーム出力方向 (ディファレンシャル干渉計ヘッドの場合は不要)

パーツ番号ジェネレータに要件を入力して、必要な、RLE レーザーエンコーダシステムのパーツ番号を判定してください。パーツ番号が自動的に算出されます。見積りと発注にご利用ください。