RLD10 平面鏡干渉計
XY ステージに最適な平面鏡干渉計
RLD10 ディテクタヘッドは、干渉計光学部品、レニショー独自のマルチチャンネル干渉縞検出機構、レーザーシャッタ、ビームステアラを内蔵しています。出力方向が 0°と 90°の 2 種類があります。
特徴とメリット
- 2 軸システム - XY ステージに最適な 2 軸平面鏡システムです。
- 高分解能 - 反射鏡システムよりも高分解能が求められる場面に最適です。
- 繊細な環境 - ローパワーバージョンもラインナップしています。標準 RLD10 の仕様消費電力 2W よりも低い電力消費が求められる用途に最適です。
仕様
| 軸長 | 0m～1m |
| 分解能 (RLU 使用時) | アナログ = λ/4 (158nm) |
システム非直線性誤差* (周期誤差) *インターフェースを除く | 信号強度>70%、50mm/sec 未満で<±2.5nm 信号強度>50%、1m/sec で<±7.5nm |
| 最高速度 | 1m/sec |
真空以外の環境では、環境が変化しても精度を維持できるよう、何らかの方法で空気の屈折率補正を行う必要があります。この補正を行うために、レニショーは、RCU10 リアルタイム環境補正システムを用意しています。
RLE システムと RPI20 パラレルインターフェースを組み合わせることで、最高分解能 38.6pm を達成できます。このインターフェースは、ディファレンシャルのアナログ信号 1Vpp Sin/Cos を受信し、パラレルフォーマットで出力します。アクセサリの詳細については、RCU10 環境補正システム およびレーザーエンコーダインターフェースをご覧ください。
製品情報
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