ミラーと光学系

平面鏡

レニショーの平面鏡は、熱膨張率が低いガラスをベースに製造され、硬質酸化誘電体コーティングが施されています。

特徴とメリット

• 優れた熱安定性 - 熱膨張率が低い機材ベースのため、環境条件の変化に起因する誤差を低減
• 高反射性 - 平面鏡表面の反射性が高く (97% 超)、最高水準のパフォーマンスを発揮
• 簡単取付け - セットアップとアライメントが簡単

寸法

仕様

平面鏡は、構成および寸法がカスタム品のため、特注品のみの販売です。そのため、リードタイムが長くなる可能性があり、最低注文数量を設定しています。また、本ページ下部のデータシートに、現地調達用の仕様を記載しています。

ミラーマウント

ミラーを固定し、モーションシステムに正確にアライメント調整するための、調節式マウントをご用意しています。全長最大 350mm、断面 25mm×25mm のミラーに使用できます。

±2.5°のヨー調整と±1°のピッチ調整を行えます(実際の調整可能範囲は、ミラーの長さに依存します)。

特徴とメリット

• 簡単アライメント調整 - ヨー調整/ピッチ調整でミラーのアライメント調整が効率化
• 安定した取付け - 必要に応じた熱膨張を許容する、ミラーの安定した土台として機能
• 負荷ゼロ - ミラーの 2 面のみをクランプするため、ミラーへの負荷を低減し、取付け後にミラーがゆがむリスクを抑制

ミラーマウントは、真空環境では使用できません。

39mm 真空室ウィンドウ

RLE 光ファイバ式レーザーエンコーダは干渉計を使用して、高分解能の位置決めフィードバックを行います。

ディファレンシャル干渉計ヘッド (RLD10-X3-DI) は、真空室の壁に取り付けるよう設計されています。真空室ウィンドウを使用すると、ディテクタヘッドと測定ミラーの間にレーザービームを通せます。さらに、RLD を真空室に配置して計測する必要がある場合にも、真空室ウィンドウを真空対応の RVI20 干渉計などのその他の干渉計ヘッドと使用できます。

レニショーでは真空室ウィンドウを製造していませんが、RLE システムの性能を最大限に引き上げる、カスタム仕様の 39mm 真空室ウィンドウを調達しています。

取付け時の推奨事項

レニショーでは、真空室の壁に真空室ウィンドウを取り付けるうえで、次の事項を推奨しています。

• ウィンドウに張力がかからないように取り付けること。張力がかかると、ウィンドウが歪み、レーザービームが設計値から外れる場合があります。
  
• 真空室の壁を密閉するために、真空室の少なくとも片側に O リングを使用すること。

15mm DI ペリスコープアセンブリ

ペリスコープアセンブリは、RLD10-X3-DI ディファレンシャル干渉計ディテクタヘッドの測定ビームと参照ビーム同士をオフセットします。

2 個のミラーでオフセットを 15mm 拡大し、29mm のオフセットを確保します (RLD10-X3-DI の標準オフセットは 14mm)。

特徴とメリット

• オフセットの拡大 - 測定ビームと参照ビームの距離を 15mm 拡大
• 高反射性 - 高反射性のミラー使用により、測定ビームと参照ビーム間の信号強度低下を抑制
• 標準取付け - 標準の DI ヘッド取付けと同じ取付け

RVI20 真空対応干渉計

RVI20 は、真空対応の平面鏡用干渉計アセンブリです。RLD10-A3-XX ディテクタヘッドと使用して、真空環境に測定パスを配置します。

取付け先は真空室内で、RLD10-A3-XX ディテクタヘッドから照射されたレーザービームは、真空室ウィンドウ、RVI20、平面鏡の順に届きます。

特徴とメリット

• 相対測定 - 工具とワーク、など機械の 2 種類のパーツ間の相対測定が可能
• 真空対応 - 真空環境に対応し、真空室内への配置に最適
• 高品質光学部品 - RLD ディテクタヘッドに通常搭載される、高品質干渉計アセンブリを搭載

RVI20 は、レーザーエンコーダの測定パスを真空環境に配置する必要がある場合のために開発した製品です。