光ファイバレーザーエンコーダ製品
RLU10 レーザーユニットRLU10 は、1 時間以上の±50ppb のレーザー周波数安定性を誇ります。大気中測定の大半に活用可能な、コストパフォーマンスのよいシステムです。
真空など、極めて高い測定パフォーマンスが求められる測定用です。RLU20 は、1 時間あたり±2ppb のレーザー周波数安定性を誇ります。
RLD10 平面鏡干渉計平面鏡が必要な場面 (XY ステージなど) に最適な、ダブルパス干渉計です。
RLD10 反射鏡干渉計RLD10-RRI（反射鏡干渉計）は、反射鏡が必要なアプリケーション（長距離アプリケーションや高速アプリケーションなど）用に構成されたシングルパス干渉計です。
RLD10 ディファレンシャル干渉計ディファレンシャル測定用に設計されたダブルパス干渉計システムです。真空室に最適です。
干渉計を内蔵していないため、ヘッドを専用光学部品と順に併用して、位置決め計測、角度計測、真直度計測を行えます。
RCU10 リアルタイム環境補正システム環境センサーを通じて機械の周囲環境をモニタし、リアルタイムで位置決めフィードバック信号の補正を行います。
RPI30 は、入力したディファレンシャルアナログ (1Vpp Sin/Cos) 信号を 4096 逓倍し、最大 36bit のパラレルフォーマットで位置データを出力するインターフェースです。
RLI20-P レーザーインターフェース: Panasonic
RLE システムから出力された 1Vpp Sin/Cos を使用して、Panasonic (MINAS A5 シリーズ) コントローラとの通信を仲介します。
RSU10 USB インターフェースRLE システムからアナログ 1Vpp Sin/Cos を受信し、16,384 逓倍の内挿分割を行い、USB ポート経由で位置決め信号を出力します。
ミラーとアクセサリ調整が簡単なマウントを装着した高反射性の平面鏡や、信号強度の低下を最小限に抑える真空室ウィンドウです。レーザーエンコーダシステムの性能を最大限まで高めために、使用します。
15mm DI ペリスコープアセンブリペリスコープアセンブリは、RLD10-X3-DI ディファレンシャル干渉計ディテクタヘッドの測定ビームと参照ビーム同士をオフセットします。
RVI20 真空対応干渉計RLD10-A3-XX ディテクタヘッドと使用して、測定パス全体を真空環境内で保持します。
RLD10-X3-DI 干渉計ヘッドと組み合わせてピッチ、ヨーおよびロールを高精度で測定します。XY ステージにおける 6 自由度の測定が可能です。