RMAP meerassige periscoop
Ontworpen om metingen in zes vrijheidsgraden mogelijk te maken op XY-tafels door de bundelprojectie van meerdere interferometers te minimaliseren. Door gebruik te maken van drie RLD10-X3-DI interferometerkoppen kan de meerassige periscoop nauwkeurig schuinstand, verdraaiing en lineaire positie meten.
Met zijn hoekbereik van ± 30 boogseconden is de meerassige periscoop compatibel met de meeste hoogwaardige tafels, waarvan hij de prestaties nog verder optimaliseert. De meerassige periscoop heeft één montagevlak en is daardoor snel en gemakkelijk te installeren op een vacuümkamer of meetframe.
Bij gebruik van de RLD10-X3-DI kop voor hoekmetingen vallen fouten die ontstaan door variatie van de laserfrequentie of veranderingen in de omgeving gewoonlijk tussen de twee paden. Dit verbetert de nauwkeurigheid en herhaalbaarheid in vergelijking met hoekafwijkingen die berekend worden uit twee onafhankelijke bundels.
Kenmerken en voordelen
- Compacte bundelprojectie – verkleind tot 18 bij 35 mm, om de grootte en het gewicht van de doelspiegels te kunnen minimaliseren.
- Gemakkelijk te installeren – ontworpen voor montage direct op de buitenkant van een vacuümkamer en vast te zetten met vier bouten.
- Hoge prestaties – gebruik van onafhankelijke RLD10-X3-DI koppen verbetert de nauwkeurigheid en herhaalbaarheid ten opzichte van conventionele methodes.
Productinformatie
Andere belangrijke onderwerpen
