RLD10 vlakke spiegel interferometer
Interferometers met vlakke spiegels voor toepassingen op XY-tafels.
RLD10 detectorkoppen zijn voorzien van een interferometrisch optische opstelling, een uniek meerkanaals interferentiedetectiesysteem met lasershutter en geïntegreerde beam steerer. Van de RLD10 detectorkop zijn zowel 0° als 90° varianten verkrijgbaar.
Kenmerken en voordelen
- 2-assige systemen - 2-assige vlakkespiegelsystemen vormen de ideale oplossing voor toepassingen op XY-tafels.
- Hoge resolutie - vlakkespiegelsystemen zijn ook te gebruiken voor toepassingen die een hogere resolutie vereisen dan retroreflectorsystemen bieden.
- Kwetsbare omgevingen - interferometerdetectorkoppen met vlakke spiegels zijn ook verkrijgbaar met een laag vermogen. Geschikt voor toepassingen die een lagere vermogensgebruik vereisen dan de < 2 W van de standaard RLD10.
Specificaties
| Verplaatsing langs as | 0 m tot 1 m |
| Resolutie (geconfigureerd met RLU) | Analoge kwadratuur = λ/4 (158 nm) |
Niet-lineariteitsfout* van het systeem (SDE) *exclusief interface | < ± 2,5 nm onder 50 mm/sec met > 70% signaalsterkte < ± 7,5 nm bij 1 m/sec met > 50% signaalsterkte |
| Maximale snelheid | Tot 1 m/sec |
Bij niet-vacuüm toepassingen is enige compensatie van de brekingsindex nodig om de nauwkeurigheid bij fluctuerende omgevingscondities op peil te houden. Renishaw levert het RCU10 systeem voor real-time kwadratuurcompensatie om deze variaties te compenseren.
Resoluties tot 38,6 picometer zijn te bereiken door een RPI20 parallelle interface in het RLE systeem op te nemen. De interface verwerkt differentiële analoge 1 Vpp sinus/cosinussignalen en levert uitgangssignalen in parallel formaat. Meer informatie over onze toebehoren is te vinden bij het RCU10 compensatiesysteem en de laserencoderinterfaces
Productinformatie
Andere belangrijke onderwerpen
