RLD10 differentiële interferometer

De differentiële kop is voorzien van een uniek optisch ontwerp om een lage SDE-waarde te realiseren. Geïntegreerde bundelrichters maken bij het installeren helling- en verdraaiingcorrecties mogelijk die de uitlijning verbeteren (alleen geschikt voor toepassingen met vlakke spiegels).

De RLD10-X3-DI detectorkop kan dankzij drie pennen simpel gemonteerd worden tegen de buitenwand van een procesruimte. U hoeft niet de ruimte in om de detectorkop uit te lijnen, want met de ingebouwde bundelrichters kunt u de helling en verdraaiing van de referentie- en meetbundel onafhankelijk instellen. Het bevestigingssysteem is zodanig uitgevoerd dat verwijderen en terugplaatsen van de detectorkop minimaal effect heeft op de uitlijning.

Kenmerken en voordelen

• Buitengewone metrologie - frequentiestabiliteit in ppb en uiterst lage cyclische fout leveren uitgangssignalen met resoluties tot 38,6 pm.
• Differentiële configuraties - meet de relatieve positie van tafel ten opzichte van kolom, waardoor gebruikelijke fouten door bijvoorbeeld bewegende kamerwanden als gevolg van wisselende omgevingscondities worden voorkomen.
• Snelle uitlijning - simpele uitlijning vanaf de buitenkant van de vacuümkamer met behulp van vier geïntegreerde bundelrichters om de toleranties in de kamer- en spiegelbevestiging te verhelpen.

Specificatie