RLD10 retro-reflector interferometer
Retroreflector-interferometers geschikt voor uiterst snelle toepassingen over groot bereik.
RLD10 detectorkoppen zijn voorzien van een interferometrisch optische opstelling, een uniek meerkanaals interferentiedetectiesysteem met lasershutter en geïntegreerde beam steerer. Van de RLD10 detectorkop zijn zowel 0° als 90° varianten verkrijgbaar.
Kenmerken en voordelen
- Meerassige oplossingen - 1-assige en 2-assige retroreflectorsystemen vormen een ideale oplossing voor meerassige toepassingen.
- Groot bereik en hoge snelheid - interferometerdetectorkoppen met retroreflectoren maken toepassingen met een groot bereik of hogere snelheden mogelijk waarvoor een interferometer met vlakke spiegel ongeschikt is.
- Kwetsbare omgevingen - ook verkrijgbaar met laag vermogen, voor toepassingen die een lagere vermogensopname vereisen dan de < 2 W van de standaard RLD10.
Specificaties
| Verplaatsing langs as | 0 m tot 4 m |
| Resolutie (geconfigureerd met RLU) | Analoge kwadratuur = λ/2 (316 nm) |
Niet-lineariteitsfout* van het systeem (SDE) *exclusief interface | < ± 5 nm onder 100 mm/sec met > 70% signaalsterkte < ± 13 nm bij 2 m/sec met > 50% signaalsterkte |
| Maximale snelheid | Tot 2 m/sec |
Voor assen langer dan 4 m bieden we het HS20 laserencodersysteem dat assen tot 60 m ondersteunt.
Bij niet-vacuüm toepassingen is enige compensatie van de brekingsindex nodig om de nauwkeurigheid bij fluctuerende omgevingscondities op peil te houden. Renishaw levert het RCU10 systeem voor real-time kwadratuurcompensatie om deze variaties te compenseren. De door Renishaw geleverde retro-reflector is mogelijk niet geschikt voor gebruik in vacuüm of bijna vacuüm.
Resoluties tot 38,6 picometer zijn te bereiken door een RPI20 parallelle interface in het RLE systeem (configuratie met vlakke spiegel) op te nemen. Fijnere resoluties bij digitale uitgangssignalen kan de Renishaw serie REE interpolators bieden, die gaat tot 0,395 nm resolutie (configuratie met vlakke spiegel). De interface verwerkt differentiële analoge 1 Vpp sinus/cosinussignalen en levert uitgangssignalen in parallel formaat. Meer informatie over onze toebehoren is te vinden bij het RCU10 compensatiesysteem en de laserencoderinterfaces
Productinformatie
Andere belangrijke onderwerpen
