ロータリインクリメンタル UHV エンコーダ

ステップ 2: 下記の、UHV (超高真空) 対応タイプロータリインクリメンタルエンコーダシリーズから選定します。

TONiC™

TONiC は、20µm ピッチ用のコンパクトなエンコーダシステムです。

RESM20 ステンレススチールロータリ (角度位置決め用) リングと、20µm ピッチ用の TONiC UHV インクリメンタルリードヘッド。インターフェースも各種ラインナップしています。

REXM20 高精度ステンレススチールロータリ (角度位置決め用) リングと、20µm ピッチ用の TONiC UHV インクリメンタルリードヘッド。インターフェースも各種ラインナップしています。