RESOLUTE™ UHV アブソリュートエンコーダシステム with RSLA30 リニアスケール

機能

シリアルインターフェース: BiSS® C、Panasonic
リードヘッドサイズ: 36×16.5×17.2mm
最高分解能 1nm (100m/s 時)
精度±4µm (5m、20℃時)
熱膨張率 (20℃時): 10.1±0.2µm/m/℃

メリット

高精度スケール
広い取付け公差
真空環境向けの低ガス放出
高い位置決め安定性を実現する 10nm 未満のジッタ
スムーズな速度制御を実現する±40nm の周期誤差
高度診断ツールにも対応

RESOLUTE UHV とは

RESOLUTE UHV は、超高真空環境用のアブソリュートエンコーダです。損傷のリスクを低減しながら、処理量と信頼性を高められます。

RESOLUTE のパフォーマンスは、UHV 環境向けに設計された他のアブソリュートエンコーダを上回ります。100m/s で 1nm の分解能を備えており、画期的な仕様を実現しています。

RSLA30 スケールとは

RSLA30 は、30µm のピッチの絶対位置スケールコードが刻まれたステンレススチールスケールで、長さ 5m で±4µm 以内の精度 (勾配とリニアリティを含む) という、ファインピッチのガラススケールに匹敵する性能を備えています。リール巻き式のため、保管と取扱いが簡単で、伸ばしてスケールとして使用します。
ニーズに合わせて、専用両面テープ取付けか機械式クリップ取付けを選択できます。どちらの取付け方式でも、機材に影響されない熱膨張率を維持できます。

このエンコーダシステムのメリット

トラブルシューティングとトラブル解決が簡単

高度診断ツール ADTa-100 で、RESOLUTE™ リードヘッド (ADT マーク付き) からさまざまなリアルタイムデータを取得できます。取得したデータは、ソフトウェアの ADT View で表示します。システムのセットアップには、リードヘッド内蔵のセットアップ LED で十分なことがほとんどですが、通常よりも取付け条件が難しい場合に高度診断ツールが有効です。また、高度診断ツールは、エンコーダパフォーマンスの確認やシステムのトラブルシューティングにも活用できます。

UHV (超高真空) 対応タイプ

RESOLUTE UHV は、レニショーの革新的なアブソリュートエンコーダ技術を進化させて開発された、10^-9Torr までの UHV (超高真空) 条件下で使用できるリードヘッドです。RESOLUTE UHV は、クリーンな RGA (残量ガス分析) を基に製造しているため、高性能、半導体、科学分野に最適です。

広い取付け公差

RESOLUTE UHV は、2 本のトラック (インクリメンタル 1 本、アブソリュート 1 本) を横に並べて配置するという従来方法を採用していないため、ヨー方向のわずかな角度のずれによる位相ずれの問題が発生しません。代わりに、絶対位置と位相情報を 1 点のコードにまとめた、単一トラックの光学式アブソリュートスケールを採用しています。これによって RESOLUTE UHV は広い取付け公差 (ヨー公差±0.5°) を実現しています。短時間で取り付けでき、また、軸が静止する場合でも動く場合でも長期にわたって優れた信頼性を確保しています。さらに、取付けの精度を簡単に診断するためにセットアップ LED がリードヘッドに組み込まれています。

高度診断ツール ADTa-100 (アクセサリ)

RESOLUTE エンコーダリードヘッド (ADT マーク付き) は高度診断ツールと ADT View ソフトウェアに対応しています。取付けや診断が難しい場合に役に立つ、エンコーダのさまざまなデータをリアルタイムで取得できます。ソフトウェアのインターフェースは直感的な作りになっています。また、下記の機能が使用できます。

リモートキャリブレーション
軸のフルストロークにわたる信号の最適化
エンコーダ位置をデジタル表示 (スケールに対する相対位置)
データのエクスポートと保存
原点の設定

シリアルインターフェース

シリアルインターフェース	説明	データシート	対応製品
BiSS C	レニショーアブソリュートエンコーダは、BiSS C (単一方向) オープンプロトコルに対応しています。BiSS C は高い加速度、スムーズな速度制御、優れた繰り返し精度、確実な位置決めの安定性が求められる動性の高い軸に最適な高速シリアルインターフェースです。 BiSS C 対応の RESOLUTE には、各種業界標準コントローラ、ドライバ、DRO、PC カウンタカードを使用できます。またリニアシステムとロータリシステムのどちらの仕様のものもご用意しています。	RESOLUTE BiSS C	BiSS C 対応製品ページ
Panasonic	Panasonic シリアルインターフェース対応の RESOLUTE には、リニアシステムとロータリシステムのどちらの仕様もご用意しています。A5 および A6 シリーズのサーボドライバに対応しており、高分解能で繰り返し精度の高いフィードバックを返せるため、サーボ制御と速度制御が向上します。	RESOLUTE Panasonic	該当なし

技術仕様

対応スケール	絶対位置コードの高精度ステンレススチールスケール
リードヘッドサイズ (長さ×幅×厚さ)	36mm×16.5mm×17.2mm
スケールピッチ	公称 30µm
熱膨張率 (20℃時)	10.1±0.2µm/m/℃
精度等級 (20℃時)	±1.5µm (1m まで)、±2.25µm (2m まで)、±3µm (3m まで)、±4µm (5m まで)(勾配とリニアリティを含む)。校正は国際基準に対してトレーサブルです
スケール長	BiSS C プロトコルバージョンによっては最大長が制限されます (詳細はデータシート参照) 80mm～5m
最高速度	(詳細はデータシート参照) 最高 100m/s
シリアルインターフェース*	BiSS C、Panasonic
分解能	BiSS C: 50nm、5nm、1nm Panasonic: 100nm、50nm、1nm
周期誤差	±40nm
電気接続	最大ケーブル長 10m、フライングリード
電源	5V±10%、最大 250mA@5V (終端)
振動 (動作時)	最大 100m/s²@55Hz～2,000Hz
衝撃 (非動作時)	1,000m/s²、6ms、½ sine
動作時温度	0℃～+75℃
ベーキング温度 (非動作時)	120℃
防水防塵性能	IP30
ケーブルの仕様	銀メッキ銅縒りシングルシールド。錫メッキ銅線のフッ素樹脂皮膜芯線。

詳細については、データシートを参照してください。

*他のシリアルインターフェースも随時追加しています。