レーザーエンコーダの使用事例

使用事例の詳細

半導体産業は、小型化、高速性、低価格性を常に追求した集積回路を製造するためのハイペースの開発サイクルで知られています。このような目標を達成するために求められることのひとつが、優れた品質水準を維持した高効率の製造プロセスを確立することです。

これらの目標を達成するために、半導体産業では主要製造/検査プロセスに、超高精度を確保できるレーザーエンコーダシステムが広く活用されています。

メリット

経験

半導体業界では、レーザーエンコーダシステムが長年にわたって使用されています。レニショーは、2005 年から半導体の OEM にレーザーエンコーダを供給しており、このセクターの機器メーカーとの協力およびサポートに関して優れた実績を積み重ねています。

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シンクロトロンは、科学研究で各種の実験に使用される粒子加速器の一種です。各実験では、高精度のモーションコントロールシステム、振動分析、ドリフト測定などそれぞれ独自の課題がつきまといます。そのため、実験の要件に応じて、レーザーエンコーダや変位センサーが使用されています。

メリット

経験

シンクロトロンは世界中で運用されており、さまざまなサイズのものがあります。レニショーは、さまざまな研究機関と協力する機会を持ち、初期の要求を上回る、実用的かつ実現可能なソリューションを開発してきました。

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XY ステージは、量産から試験研究装置まで、さまざまな用途に使用されています。通常、アッベ誤差の影響が XY ステージには付きまといます。その結果、ステージ上部に大きな位置決め誤差が発生することがあります。これに対し、干渉式エンコーダシステムを使用して対象ポイントを測定することで、これらの誤差の影響を排除できます。

メリット

経験

レニショーには、干渉計エンコーダの統合において 20 年以上の経験があります。CNC 加工現場の過酷な環境から高いパフォーマンスが要求される半導体産業まで、さまざまな場面に携わってきました。

このような経験は、数多くの OEM やステージメーカーと協力して密接な協力体制を築いてきたことから得られたものです。干渉計エンコーダシステムの次世代製品への統合をサポートする作業を通じて、常にテクノロジーを進化させています。

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航空機産業では、大型パーツで厳しい公差が要求されますが、レーザーエンコーダを使用することで、この要求に満たせます。一般的に翼桁や胴体などに使用される大型 CNC 機では、30m 以上の長い機械軸が必要になります。HS20 システムを RCU10 環境補正システムと組み合わせて使用することで、30m の軸でも±30µm の精度を確保できます。

メリット

経験

世界中の航空機メーカーや大手 CNC 工作機械メーカーと協力を行うレニショーは、多数の干渉計システムを設置しており、これらのシステムは今日も使用されています。

使用場面としては、航空機仕様の合金材の加工や近代的航空機に使用されるカーボンファイバ複合材の加工に使われる機械があげられます。いずれの場面でも、大型パーツでの厳しい公差達成が要求されます。レニショーのレーザーエンコーダシステムが、その要求の達成に貢献しています。

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三次元測定機には通常、光学式エンコーダが使用されていますが、大型三次元測定機には、精度と繰り返し再現性が求められるため、レーザーエンコーダの採用が増えています。

三次元測定機は門形であることが一般的ですが、大型になると、門形設計に起因するスキュー誤差により大きな位置決め誤差が発生することがあります。しかし、門形の上部に干渉計エンコーダを使用することで、このスキュー誤差を排除できます。

メリット

経験

レニショーは、多くの OEM と協力関係を結ぶことで、求められる測定パフォーマンスを実現する構成を提供してきました。的確なソリューションを開発するためには、機械の測定要件の理解が不可欠です。

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LCD 産業のテクノロジーが進化するにつれ、LCD 製品の製造と検査に使用される機械も進化しています。小型部品からなる大型スクリーンを製造するためには、機械に使用する測定システムにも高いパフォーマンスが求められます。これを満たすのが、レーザーエンコーダです。

メリット

経験

レニショーは OEM やステージメーカー各社との協力により培ってきた経験を活かし、統合を最短で行います。さまざまな事例における経験と知識を基に、お客様に最適な干渉式エンコーダシステムを短時間で選定します。