Tükrök és optikák
A Renishaw által kínált optikák és tükrök széles választékában minden alkalmazáshoz megtalálható az optimális megoldás.
Síktükrök
A Renishaw által forgalmazott síktükrök kis hőtágulási együtthatójú üvegből készülnek, kemény oxidos, dielektrikumos bevonattal.
Jellemzők és előnyök
- Hőstabil - a kis hőtágulású alapanyag minimálisra csökkenti a környezeti feltételek ingadozása miatti hibákat.
- Erősen fényvisszaverő - erősen fényvisszaverő tükörfelület (>97%) a maximális teljesítményért.
- Egyszerűen rögzíthető – a Renishaw tükörtartói egyszerű beállítást és beirányzást tesznek lehetővé.
Méretek
| Keresztmetszet | 25 mm x 25 mm |
| Optikai nyílás | 60–380 mm (10 mm-es lépésekben) |
Műszaki adatok
| Lokális síklapúság | < λ/10 egy 12 mm széles x 7 mm magas területen ( λ = 633 nm) |
| Teljes síklapúság | < λ/10 100 mm-re < 0,5 µm 500 mm-re |
| Keresztpolarizáció | < 0,5% |
| Visszaverőképesség | > a beeső nyaláb 97%-a |
| Anyag | Kis hőtágulású üveg |
Egyedi konfigurációjuk és méreteik miatt a síktükrök csak egyedileg rendelhetők, ezért hosszabb átfutási idővel tudjuk őket szállítani, és a minimális rendelési mennyiség is nagyobb. Alternatív megoldásként az oldal alján található adatlapban olvasható specifikációk segítségével egyénileg, helyben is beszerezheti a kívánt tükröt.
Tükörtartók
A tükrök felszerelése és a mozgatórendszerhez történő megfelelő igazítása érdekében a Renishaw állítható tartókat is kínál legfeljebb 350 mm hosszúságú és 25 mm x 25 mm keresztmetszetű tükrökhöz.
Ezekkel a tartókkal a merőleges tengelyhez képesti szögeltérés ±2,5°-ban, a vízszintes síkhoz képesti dőlés pedig ±1°-ban állítható. (A tényleges beállítási tartomány a tükör hosszától függ).
Jellemzők és előnyök
- Egyszerűen beirányozható - a vízszintes síkhoz képesti dőlés és a merőleges tengelyhez képesti szögeltérés beépített állítószerkezete felgyorsítja a tükör beirányzását.
- Stabil rögzítés - stabil alapot garantál a tükör számára, a szükséges hőtágulás biztosítása mellett.
- Szabad mozgást enged - mivel csak a két homlokfelületnél rögzíti a tükröket, csökkenti a tükör egészére nehezedő terhelést, minimálisra csökkentve ezzel a felszerelt tükröt érő hajlítási igénybevételt.
A Renishaw kínálatában szereplő tükörtartók nem használhatók vákuumban.
39 mm-es vákuumkamra-ablak
A Renishaw RLE száloptikás lézeres útmérő interferometria segítségével biztosít nagy felbontású, lineáris visszacsatolást.
A differenciál-interferométer fejet (RLD10-X3-DI) a vákuumkamra falán történő elhelyezésre terveztük. A vákuumkamra-ablak ezután lehetővé teszi, hogy a lézernyalábok áthaladjanak a detektorfej és a mérőtükör között. A vákuumkamra-ablakok más olyan interferométer-fejekkel is használhatók, ahol az RLD-nek vákuumkamrában kell mérnie, mint pl. az RVI20 vákuum-kompatibilis interferométer esetében.
Bár a Renishaw nem gyárt vákuumkamra-ablakokat, a 39 mm-es vákuumkamra-ablakot egyedi specifikációk alapján szerzi be, hogy az RLE rendszer maximális teljesítménnyel működhessen.
Rögzítési javaslatok
A Renishaw a következőket javasolja a kamra ablakának a kamra falában történő rögzítésére.
- Tilos az ablakot feszítve beszerelni, különben deformálódik és a nyaláb eltér a névleges pályájától.
- A kamra ablakának legalább az egyik oldalán O-gyűrűt kell használni, hogy létrejöjjön és fennmaradjon a vákuum a vákuumkamra falában.
15 mm DI periszkópegység
A periszkópegység növeli az RLD10-X3-DI differenciál-interferométeres érzékelőfej mérő- és referenciasugarai közötti távolságot.
Az egység két tükör használata révén a távolságot 15 mm-rel, összesen 29 mm-re (a normál RLD10-X3-DI egységnél a távolság 14 mm) növeli.
Jellemzők és előnyök
- Nagyobb eltolódás - 15 mm-rel növeli a távolságot a mérő- és a referenciasugár között.
- Erősen fényvisszaverő - az erősen fényvisszaverő tükrök használatával minimális a jelerősség csökkenése a mérő- és a referenciasugár között.
- Normál tartó - az alapkivitelű DI fejtartó a periszkóppal is használható.
RVI20 vákuum-kompatibilis interferométer
Az RVI20 egy síktükrökhöz használható, vákuum-kompatibilis interferométer-egység, amelyet a Renishaw RLD10-A3-XX detektorfejjel kombinálva a teljes mérési pálya a vákuumos környezetben tartható.
Az RVI20 egységet vákuumkamrában történő elhelyezésre terveztük. Működése során a lézersugár az RLD10-A3-XX készülékből a kamra ablakán át jut az RVI20 egységbe, majd a síktükörre esik.
Jellemzők és előnyök
- Relatív mérések - relatív méréseket tesz lehetővé a gép két eleme, pl. a szerszám és a munkadarab között.
- Vákuum-kompatibilitás - nagymértékű vákuum képződésével járó alkalmazásokkal is használható, és vákuumkamrában is elhelyezhető.
- Kiváló minőségű optika – az RVI20 készülékben az a kiváló minőségű Renishaw interferométeres optikai egység található, amelyet normál esetben az RLD detektorfejben használnak.
Az RVI20 készüléket lézeres útmérős alkalmazásokhoz terveztük, ahol a mérési pályának végig a vákuumos környezetben kell haladnia.
Termékinformációk
Ez is érdekelheti
