RLD10 differenciál-interferométer

A differenciál-interferométerekkel egy adott referenciához képest végezhetők mérések.

A differenciálfejet egyedülálló optikai kialakításával kifejezetten úgy terveztük, hogy használata során alacsony legyen az osztás alatti hiba (SDE) mértéke. Az integrált sugárterelők révén a vízszintes síkhoz képesti dőlés és a merőleges tengelyhez képesti szögeltérés a készülék üzembe helyezése során állítható, ami megkönnyíti a sugár beirányzását (csak síktükrös alkalmazások esetében).

Kialakításánál fogva az RLD10-X3-DI érzékelőfej egyszerű háromcsapos felfogatással rögzíthető a munkatér külső falára. A detektorfej megfelelő helyzete a készülék munkaterén kívülről állítható be – az integrált sugárterelők segítségével a referenciasugár és a mérősugár vízszintes síkkal bezárt szögének és a merőleges tengelyhez képesti szögeltérésének beállítása egymástól függetlenül végezhető el. A rögzítőrendszer kialakításának köszönhetően pedig a detektorfej eltávolítása és újrapozicionálása csak minimális hatást fejt ki a teljes rendszer beállítására.

Jellemzők és előnyök

  • Kivételes mérési lehetőségek- ezermilliomodokban mérhető frekvenciastabilitás és rendkívül csekély ciklikushiba, aminek köszönhetően akár 38,6 pm értékű kimeneti felbontás is elérhető.
  • Differenciál-konfigurációk- az állvány oszlophoz viszonyított relatív helyzetét méri, ezáltal kiküszöböli az olyan gyakori üzem közbeni hibákat, mint amilyen például a munkatér oldalfalának a környezeti tényezők változásából eredő mozgása.
  • Gyors beállítás - a vákuumkamrán kívülről végezhető, egyszerű beállítás négy beépített sugárterelő segítségével a munkatér és a tükörrögzítés tűréseinek áthidalása érdekében.

Műszaki adatok

Tengely elmozdulása0–1 m
Felbontás (RLU-val konfigurálható)Analóg négyszögjel = λ/4 (158 nm)
Digitális négyszögjel = 10 nm
RPI20 felbontás = 38,6 pm

Rendszer egyenes vonalúsági hibája* (osztás alatti hiba, SDE)

*interfész nélkül

<±1 nm 50 mm/s sebesség alatt >70% jelerősséggel
<±6 nm 1 m/s sebességnél >50% jelerősséggel
Maximális sebességMax. 1 m/s
A differenciál-interferométeres érzékelőfejet gyakran a Renishaw RLU20 egységgel konfigurálják. Az RLU20 lézerforrásának nagy stabilitása a differenciál-interferométeres fej kiváló teljesítményével kombinálva ideális választást jelent vákuumkamrában, illetve más, szigorúan ellenőrzött körülmények között végzett mérésekhez.

Termékinformációk

Ez is érdekelheti

RLU10
RLU lézer
Az egy- vagy kéttengelyes konfigurációban egyaránt elérhető RLU lézeregység egy HeNe (hélium/neon) lézerforrást, stabilizáló elektronikát, valamint száloptikás indító és tengelypozíció-visszacsatoló elektronikát tartalmaz.
RMAP-3A multi-axis periscope
RMAP többtengelyes periszkóp
A Renishaw többtengelyes periszkópját hat szabadságfokos mérésekhez terveztük két irányban (XY) pozicionálható mérőállványos alkalmazásokhoz; ennek során az RLD10-X3-Di interferométer-fej teljesítményét használja fel az eszköz a vízszintes síkhoz képesti dőlés, a merőleges tengelyhez képesti szögeltérés és a hossztengely mentén történő elforgás pontos méréséhez.
RLD10 90° launch detector head
RLD10 saroktükrös interferométer
Az RLD10-RRI (Retroreflector Interferometer – saroktükrös interferométer) egysugaras interferométert olyan alkalmazásokhoz konfiguráltuk, ahol saroktükörre van szükség (pl. hosszabb hatósugarú vagy nagy sebességű alkalmazásokhoz).
RLD10 0° launch detector head
Belső interferométer nélküli RLD10 egység
Az RLD10-XX (belső interferométer nélküli) érzékelőfej tervezésénél fogva nem tartalmaz beépített interferométeres optikát. Ennek révén a fej speciális optikával együtt használható lineáris, szöghelyzeti és egyenességi mérések elvégzéséhez.