RMAP többtengelyes periszkóp
Több interferométer sugara helyigényének minimalizálásával hat szabadságfokos mérésekhez terveztük két irányban (XY) pozicionálható mérőállványos alkalmazásokhoz. A többtengelyes periszkóp három RLD10-X3-DI interferométer-fejet használ, így képes pontosan mérni a vízszintes síkhoz képesti dőlést, a merőleges tengelyhez képesti szögeltérést és a lineáris pozíciót.
±30 ívmásodperces szögtartományának köszönhetően a többtengelyes periszkóp a legtöbb nagy teljesítményű mérőállvánnyal kompatibilis, ami még optimálisabbá teszi a teljesítményét. Az egyszeres rögzítőfelület lehetővé teszi a többtengelyes periszkóp gyors és egyszerű felszerelését a vákuumkamrára vagy méréstechnikai vázra.
Ha az RLD10-X3-DI fejet használja szögmérésekhez, akkor a lézer frekvenciájának ingadozása és a környezeti változások által előidézett hibák azonosak lesznek a két pályánál. Ez javítja a pontosságot és a megismételhetőséget a két független sugárból számított szögeltérésekhez képest.
Jellemzők és előnyök
- Kompakt sugárhelyigény – 18 mm x 35 mm-re csökkent, így a céloptikai tükrök mérete és tömege is minimális.
- Egyszerű telepítés – közvetlenül a vákuumkamra külső oldalára szerelhető és négy csavarral rögzíthető.
- Nagy teljesítmény – a független RLD10-X3-DI fejek alkalmazása javítja a pontosságot és a megismételhetőséget a hagyományos módszerekhez képest.
Termékinformációk
Ez is érdekelheti
