Belső interferométer nélküli RLD10 egység
A Renishaw egyedi száloptikás besugárzási rendszerének egyszerűsége és teljesítményét az adott alkalmazás követelményeinek megfelelő optikai rendszerekkel kombinálja.
Az RLD egyedülálló, többcsatornás interferenciacsík-érzékelő rendszert, optikai rekeszt és integrált sugárterelőt tartalmaz, így könnyedén integrálható speciális alkalmazásokba.
Az RLD10-XX fej csak 0°-os változatban kapható.
Jellemzők és előnyök
- Egyedi optikai megoldások - a belső optika nélküli RLD külső optikai rendszerekhez konfigurálva számos alkalmazásban megállja a helyét.
- Kalibráló mérések -a Renishaw kalibráló optikáival együtt használható egyenesség, szöghelyzet és pozíció méréséhez.
- Vákuumban is használható - az RVI20 egységgel is kompatibilis, két jellemző közötti relatív mérések végzéséhez.
Műszaki adatok
Síktükrös alkalmazások | Saroktükrös alkalmazások | |
Tengely elmozdulása | 0–1 m | 0–4 m |
Felbontás (RLU-val konfigurálva) | Analóg négyszögjel = λ/4 (158 nm) Digitális négyszögjel = 10 nm RPI20 felbontás = 38,6 pm | Analóg négyszögjel = λ/2 (316 nm) Digitális négyszögjel = 20 nm RPI20 felbontás = 77,2 pm |
Rendszer egyenes vonalúsági hibája* (osztás alatti hiba, SDE) *interfész nélkül | <±2,5 nm 50 mm/s sebesség alatt >70% jelerősséggel <±7,5 nm 1 m/s sebességnél >50% jelerősséggel | <±5 nm 100 mm/s sebesség alatt >70% jelerősséggel <±13 nm 2 m/s sebességnél >50% jelerősséggel |
Maximális sebesség | Max. 1 m/s | Max. 2 m/s |