Belső interferométer nélküli RLD10 egység

A Renishaw egyedi száloptikás besugárzási rendszerének egyszerűsége és teljesítményét az adott alkalmazás követelményeinek megfelelő optikai rendszerekkel kombinálja.

Az RLD egyedülálló, többcsatornás interferenciacsík-érzékelő rendszert, optikai rekeszt és integrált sugárterelőt tartalmaz, így könnyedén integrálható speciális alkalmazásokba.

Az RLD10-XX fej csak 0°-os változatban kapható.

Jellemzők és előnyök

  • Egyedi optikai megoldások - a belső optika nélküli RLD külső optikai rendszerekhez konfigurálva számos alkalmazásban megállja a helyét.
  • Kalibráló mérések -a Renishaw kalibráló optikáival együtt használható egyenesség, szöghelyzet és pozíció méréséhez.
  • Vákuumban is használható - az RVI20 egységgel is kompatibilis, két jellemző közötti relatív mérések végzéséhez.

Műszaki adatok

Síktükrös alkalmazásokSaroktükrös alkalmazások
Tengely elmozdulása0–1 m0–4 m
Felbontás (RLU-val konfigurálva)Analóg négyszögjel = λ/4 (158 nm)
Digitális négyszögjel = 10 nm
RPI20 felbontás = 38,6 pm
Analóg négyszögjel = λ/2 (316 nm)
Digitális négyszögjel = 20 nm
RPI20 felbontás = 77,2 pm

Rendszer egyenes vonalúsági hibája* (osztás alatti hiba, SDE)

*interfész nélkül

<±2,5 nm 50 mm/s sebesség alatt >70% jelerősséggel
<±7,5 nm 1 m/s sebességnél >50% jelerősséggel
<±5 nm 100 mm/s sebesség alatt >70% jelerősséggel
<±13 nm 2 m/s sebességnél >50% jelerősséggel
Maximális sebességMax. 1 m/sMax. 2 m/s

Termékinformációk