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Interféromètre différentiel RLD10

Les interféromètres différentiels permettent des mesures relatives par rapport à une référence définie.

Cette tête différentielle est conçue avec un schéma optique inédit qui produit une faible erreur de subdivision. Les optiques d'alignement de faisceau intégrées permettent un ajustement de tangage et de lacet lors de l'installation, ce qui améliore le processus d'alignement (uniquement pour applications à miroirs plans).

La tête de détection RLD10-X3-DI a été conçue pour être installée à la paroi externe d'une chambre de traitement au moyen d'une monture simple à trois broches. Il est inutile de pénétrer dans la chambre pour aligner la tête de détection car des orienteurs de faisceaux permettent d'effectuer un réglage indépendant de lacet et tangage du faisceau de référence et de mesure. Par ailleurs, la conception du système de monture permet de démonter et de repositionner la tête de détection avec une incidence minimum sur l'alignement du système.

Caractéristiques et avantages

  • Métrologie exceptionnelle - Sa stabilité de fréquence de l'ordre « partie par milliard » et son erreur cyclique ultra faible permettent des résolutions atteignant 38,6 pm.
  • Configurations différentielles - Mesure la position relative de l'étage par rapport au coulisseau. Ceci élimine les erreurs de mode courantes comme le mouvement de paroi latérale de la chambre liée aux fluctuations dans l'environnement.
  • Alignement rapide et simple - Effectué depuis l'extérieur de la chambre sous vide au moyen de quatre optiques d'alignement de faisceau intégrées pour passer outre aux tolérances de la chambre et de la monture de miroir.

Caractéristiques

Déplacement d'axe0 m à 1 m
Résolution (Configurée avec RLU)Quadrature analogique = λ/4 (158 nm)
Quadrature numérique = 10 nm
Résolution RPI20 = 38.6 pm

Erreur de non-linéarité du système* (erreur de subdivision ultrafaible (SDE))

*exclut l'interface

< ±1 nm à moins de 50 mm/sec avec une puissance de signal > 70 %
< ±6 nm à 1 m/sec avec une puissance de signal > 50 %
Vitesse maximaleJusqu’à 1 m/s
La tête de détecteur de l'interféromètre différentiel est souvent configurée avec le Renishaw RLU20. L'excellente stabilité de la source laser RLU20, et les performances de la tête d'interféromètre différentiel forment une combinaison idéale pour les mesures dans les chambres sous vide et autres environnements strictement contrôlés.

Informations produit

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