Périscope multiaxe RMAP
Conçu pour permettre des mesures à six degrés de liberté dans les applications d'étage XY en minimisant l’empreinte du faisceau provenant de multiples interféromètres. En utilisant trois têtes d’interféromètre RLD10-X3-DI, le périscope multiaxe peut mesurer précisément le tangage, le lacet et la position linéaire.
Avec une plage angulaire de ±30 secondes d'arc, le périscope multiaxe est compatible avec la plupart des étages de haute performance, optimisant leur capacité. Une unique face de montage permet au périscope multiaxe d’être installé rapidement et facilement sur la chambre de vide ou le cadre de métrologie.
L’utilisation de la tête RLD10-X3-DI pour les mesures angulaires permet aux erreurs générées à partir de la variation de fréquence laser et aux changements environnementaux d’être communs entre les deux trajectoires. Cela améliore la précision et la répétabilité comparativement aux déviations angulaires calculées à partir de deux faisceaux indépendants.
Caractéristiques et avantages
- Empreinte de faisceau compact - réduite à 18 mm par 35 mm, pour minimiser la taille et le poids des miroirs cible.
- Installation facile - conçu pour être monté directement sur l'extérieur de la chambre de vide et fixé avec quatre boulons.
- Performances élevées - l’utilisation de têtes RLD10-X3-DI indépendantes améliore la précision et la répétabilité par rapport aux méthodes conventionnelles.
Informations produit
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