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Interféromètre à miroir plan RLD10

Interféromètres à miroir plan convenant aux applications d'étage XY.

Les têtes de détecteur RLD10 contiennent l'optique d'interféromètre, un système inédit de détection de frange multicanal, un obturateur laser et une optique d'alignement de faisceau intégrée. Les variantes 0° et 90° de la tête de détecteur RLD10 sont disponibles.

Caractéristiques et avantages

  • Solutions deux axes - Les systèmes à miroir plan deux axes sont la solution idéale pour les applications à étage XY.
  • Haute résolution - Les systèmes à miroir plan peuvent aussi intervenir dans des applications exigeant une résolution supérieure par rapport aux systèmes à rétro-réflecteur.
  • Environnements sensibles - Des têtes de détecteur interférométrique à miroir plan sont également disponibles en variante faible puissance. Elles conviennent aux applications qui exigent une dissipation de puissance plus faible que la valeur spécifiée de < 2 W de la tête RLD10 standard.
Têtes de détecteur RLD avec miroirs

Caractéristiques

Déplacement d'axe0 m à 1 m
Résolution (Configuré avec RLU)

Quadrature analogique = λ/4 (158 nm)
Quadrature numérique = 10 nm
Résolution RPI20 = 38.6 pm

Erreur de non-linéarité du système* (erreur de subdivision ultrafaible (SDE))

*exclut l'interface

< ±2,5 nm à moins de 50 mm/sec avec une puissance de signal > 70 %
< ±7,5 nm à 1 m/sec avec une puissance de signal > 50 %
Vitesse maximaleJusqu’à 1 m/s


Pour les applications hors vide, une unité de compensation d'indice de réfraction est nécessaire pour maintenir la précision en cas de fluctuation des conditions environnementales. À cet effet, Renishaw propose son système RCU10 de compensation à quadrature en temps réel pour compenser ces fluctuations.

L’intégration d’une interface parallèle RPI20 au système RLE permet d’atteindre des résolutions de 38,6 picomètres. Cette interface accepte des signaux différentiels analogiques sinus/cosinus 1 V (crête à crête) et produit une sortie à format parallèle. Pour plus d'informations sur nos accessoires, voir système de compensation RCU10 et interfaces de codeur laser.

Informations produit

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