VIONiC™ Messsysteme
Die Messsystembaureihe VIONiC ist Renishaws leistungsfähigstes, inkrementelles, optisches Messsystem. Es liefert direkte digitale Positionsrückmeldungen in Verbindung mit herausragender Messgenauigkeit, hohen Geschwindigkeiten und großer Zuverlässigkeit. Im VIONiC Abtastkopf ist die bewährte Filteroptik und Interpolationstechnologie von Renishaw integriert. Dies gewährleistet höchste zyklische Genauigkeit und eine hohe Schmutzunempfindlichkeit und bietet den Vorteil, dass keine zusätzlichen Adapter oder gesonderte Schnittstellen erforderlich sind.
Zudem sind VIONiC Abtastköpfe mit verschiedensten linearen, rotativen und Teilkreis-Maßverkörperungen kompatibel, von ZeroMet™ Maßbändern mit geringer Ausdehnung bis hin zu hochgenauen REXM Ringen. Dies macht die VIONiC Baureihe zum Messsystem der Wahl für Anwendungen, die Flexibilität und hervorragende Messleistung erfordern.
Sehr geringer zyklischer Fehler (SDE)
In der VIONiC Messsystembaureihe ist die bewährte Filteroptik und Signalverarbeitung für überragende Messleistung integriert. Die hochentwickelte Interpolationstechnologie bietet eine hohe zyklische Genauigkeit von typischerweise < ±15 nm: die höchste der optischen Messsysteme von Renishaw.
Hohe Verfahrgeschwindigkeit kombiniert mit feiner Auflösung
Der VIONiC Abtastkopf verfügt über einen intelligent interpolierenden Chip, der eine hohe Auflösung von 2,5 nm erzielt und damit hohe Präzision und Wiederholgenauigkeit für jede Anwendung bietet. Das Messsystem ist mit einer maximalen Taktrate von 50 MHz erhältlich und arbeitet mit Geschwindigkeiten bis 12 m/s. Bei einer Auflösung von 0,1 μm sind Geschwindigkeiten von bis zu 3,63 m/s möglich, ideal für die Maximierung des Durchsatzes in den anspruchsvollsten Prozessen der Halbleiterfertigung.
Leistungsfähige Diagnoseinstrumente
VIONiC Messsysteme lassen sich dank des automatischen Kalibriermodus auch einfach installieren. Sie sind sowohl mit dem eigenständigen Diagnoseinstrument für Messsysteme ADTpro-100 als auch dem ADTi-100 Diagnoseinstrument kompatibel, die mit der Software ADT View erhältlich sind. Sie bieten detaillierte Diagnoseinformationen und helfen bei der optimalen Installation des Messsystems und der sofortigen Fehlersuche, um selbst schwierigste Motion Control-Anwendungen zu handhaben.
Finden Sie die passende VIONiC Maßverkörperung
Linear
Maßverkörperung | Produktname | Genauigkeit | Teilungsperiode | Thermischer Ausdehnungskoeffizient bei 20 °C | Max. Länge der Maßverkörperung |
Edelstahlmaßband mit Schienenoption
| ±5 µm/m | 20 µm | 10,1 ±0,2 µm/m/°C | Bis 10 m (> 10 m auf Anfrage) | |
Schmales Edelstahlmaßband
| ±5 µm/m | 20 µm | Wie Installationsuntergrund, wenn Maßbandenden mit Endklemmen fixiert sind | Bis 20 m (> 20 m auf Anfrage) | |
ZeroMet Maßstab
| RELM/RELE | ±1 µm für bis zu 1 m, dann ±1 µm/m | 20 µm | 0,75 ±0,35 µm/m/°C | Bis 1,5 m |
Edelstahl-Maßstab
| ±1,5 µm bis zu 1 m, ±2,25 µm bis zu 2 m, ±3 µm bis zu 3 m, ±4 µm bis zu 5 m | 20 µm | 10,1 ±0,2 µm/m/°C | Bis 5 m |
Teilrotation
Maßverkörperung | Produktname | Genauigkeit | Teilungsperiode | Thermischer Ausdehnungskoeffizient bei 20 °C | Lieferlänge |
Schmales Edelstahlmaßband für Teilkreismessungen
| ±5 µm/m | 20 µm | 10,1 ±0,2 µm/m/°C | Bis 20 m (> 20 m auf Anfrage) |
Rotativ
Maßverkörperung | Produktname | Genauigkeit (je nach Ringdurchmesser) | Teilungsperiode | Thermischer Ausdehnungskoeffizient bei 20 °C | Ringdurchmesser |
Edelstahl-Ring  | Teilungsgenauigkeit: ±3,97 bis ±0,38 Winkelsekunden | 20 µm | 15,5 ±0,5 µm/m/°C | 52 bis 550 mm | |
Hochgenauer Edelstahl-Ring  | REXM20/REXT20 | Installierte Genauigkeit: (≥ 100 mm Durchmesser) ±1 Winkelsekunde | 20 µm | 15,5 ±0,5 µm/m/°C | 52 bis 417 mm |
Optionales Advanced Diagnostic Tool ADTi-100
Das ADTpro-100 ist ein handgeführtes, eigenständiges Diagnoseinstrument für Messsysteme mit integriertem Farb-Touchscreen. Das ADTpro-100:
- benötigt keinen Computer oder weitere Ausrüstung für die Einrichtung, um in Echtzeit umfassende Informationen über den Zustand des Messsystems anzuzeigen.
- ist einfach bedienbar und mittels Plug & Play schnell eingerichtet, um Unterstützung bei der Einrichtung und Kalibrierung des Systems zu bieten.
- nutzt die optionale Computersoftware ADT View, die das Speichern der Messsystem-Daten zur Protokollierung der Systemkonfiguration und -leistung ermöglicht. Darüber hinaus kann ADT View zur Aktualisierung der ADTpro-100 Firmware verwendet werden.
Das ADTi-100 in Verbindung mit der intuitiven Computersoftware ADT View:
- liefert in Echtzeit umfassende Rückmeldungen über den Zustand des Messsystems zur Unterstützung bei besonders schwierigen Installationen und der Diagnose.
- bietet Unterstützung bei der Systemeinrichtung, -kalibrierung und Signaloptimierung entlang der gesamten Achse.
- ermöglicht das Speichern von Daten, wie beispielsweise Signalstärke in Bezug auf die Position über die gesamte Achse, zur Protokollierung der Systemkonfiguration und -leistung.
Das ADTpro-100 und ADTi-100 eignen sich ideal für die Systemoptimierung und -diagnose, insbesondere bei Installationen, bei denen keine Sichtverbindung zur Einstell-LED des Abtastkopfes besteht. Sie können eigenständig oder zwischen Abtastkopf und Steuerung angeschlossen als Teil des Maschinenregelkreises eingesetzt werden.
Vorteile
Geschwindigkeit
| Zählerfrequenz getakteter Ausgang (MHz) | Höchstgeschwindigkeit (m/s) | Mindestflankenabstand* (ns) | |||||||||||
| D (5 µm) | X (1 µm) | Z (0,5 µm) | W (0,2 µm) | Y (0,1 µm) | H (50 nm) | M (40 nm) | P (25 nm) | I (20 nm) | O (10 nm) | Q (5 nm) | R (2,5 nm) | ||
| 50 | 12 | 12 | 12 | 7,25 | 3,63 | 1,81 | 1,45 | 0,906 | 0,725 | 0,363 | 0,181 | 0,091 | 25,3 |
| 40 | 12 | 12 | 12 | 5,80 | 2,90 | 1,45 | 1,16 | 0,725 | 0,580 | 0,290 | 0,145 | 0,073 | 31,8 |
| 25 | 12 | 12 | 9,06 | 3,63 | 1,81 | 0,906 | 0,725 | 0,453 | 0,363 | 0,181 | 0,091 | 0,045 | 51,2 |
| 20 | 12 | 12 | 8,06 | 3,22 | 1,61 | 0,806 | 0,645 | 0,403 | 0,322 | 0,161 | 0,081 | 0,040 | 57,7 |
| 12 | 12 | 10,36 | 5,18 | 2,07 | 1,04 | 0,518 | 0,414 | 0,259 | 0,207 | 0,104 | 0,052 | 0,026 | 90,2 |
| 10 | 12 | 8,53 | 4,27 | 1,71 | 0,850 | 0,427 | 0,341 | 0,213 | 0,171 | 0,085 | 0,043 | 0,021 | 110 |
| 08 | 12 | 6,91 | 3,45 | 1,38 | 0,690 | 0,345 | 0,276 | 0,173 | 0,138 | 0,069 | 0,035 | 0,017 | 136 |
| 06 | 12 | 5,37 | 2,69 | 1,07 | 0,540 | 0,269 | 0,215 | 0,134 | 0,107 | 0,054 | 0,027 | 0,013 | 175 |
| 04 | 12 | 3,63 | 1,81 | 0,730 | 0,360 | 0,181 | 0,145 | 0,091 | 0,073 | 0,036 | 0,018 | 0,009 | 259 |
| 01 | 4,53 | 0,910 | 0,450 | 0,180 | 0,090 | 0,045 | 0,036 | 0,023 | 0,018 | 0,009 | 0,005 | 0,002 | 1038 |
*Bei einem Abtastkopf mit 1 m Kabel
Sehr geringer zyklischer Fehler (SDE)
Interpolierter Fehler – 10 Fehlerzyklen
X-Achse: Abtastkopfposition (mm)
Y-Achse: Fehler (nm)