旋轉增量式 UHV 編碼器步驟 2.選擇下列旋轉增量式 UHV（超高真空）編碼器：TONiC™TONiC 超輕巧型 20 µm 光學尺系統TONiC UHV 搭配 RESM20TONiC UHV（超高真空）增量式超輕巧型 20 µm 讀頭，搭配 RESM20 旋轉（角度）不鏽鋼環及多個介面選項TONiC UHV 搭配 REXM20TONiC UHV（超高真空）增量式超輕巧型 20 µm 讀頭，搭配 REXM20 旋轉（角度）超高精度不鏽鋼環及多個介面選項 光學尺系列線性增量式線性增量式 UHV線性絕對式線性絕對式 UHV部分弧線增量式部分弧線絕對式旋轉增量式旋轉增量式 UHV旋轉絕對式旋轉絕對式 UHV旋轉絕對式 ETR 位置光學尺開放式光學尺封閉式光學尺雷射尺磁性光學尺
