干渉式レーザーエンコーダ
超高精度の位置決めフィードバックを実現するレーザー干渉計エンコーダ
レニショーは、大規模な航空宇宙センターから高精度の半導体産業の OEM 機械メーカーまで、さまざまなお客様に干渉式レーザーエンコーダを供給しています。
レニショーレーザーエンコーダのメリット
RLE 光ファイバレーザー
RLE システムは、位置決めフィードバックのために特別に設計した、レニショー独自の最先端ホモダインレーザー干渉計システムです。
セットアップとアライメント調整が簡単
RLE は光ファイバを利用して、干渉計光学部品と干渉縞検出装置を内蔵した、独立したヘッドユニットにレーザービームを直接送出します。そのため取付けが簡単で、簡素なシステム構成を実現しています。
高分解能
RLE はその性質上、低周期誤差 (内挿分割誤差) で高分解能を実現可能です。
優れたパフォーマンス
高精度/最先端信号処理装置を装備しており、最長の 4m と最高速度 2m/sec において、サブナノメートルの分解能を発揮します。
HS20 長距離レーザーエンコーダ
HS20 レーザーヘッドは、長軸かつ高精度位置決めフィードバック用のコンポーネントです。外付けの位置決めオプチカルキットと組み合わせて使用して、干渉計を使用した非接触式エンコーダシステムの中核として役割を果たします。
過酷な環境でも安定動作
アノダイズ処理を施したアルミ製の筐体で、過酷な環境でも動作が可能です。
高性能
最長 60m、最高速度 2m/s で、ナノメートルレベルの分解能での測定が可能です。
簡単なセットアップ
便利なアライメント機構を実装しており、セットアップが簡単です。
Next step
位置決めエンコーダは、直線動作や回転動作を電気信号に変換し、位置や速度、動作のゆれといった情報を伝達します。
検出技術としてはさまざまなものがありますが、レニショーが特化しているのが光学式とレーザー式です。また、レニショーの関連会社である RLS は磁気式エンコーダを得意としています。
お客様のモーションコントロールにあった光学式、磁気式、レーザー式エンコーダのソリューションをご覧ください。