Zrcala in optika
Renishaw ponuja različno optično opremo in zrcala za potrebe specifičnih aplikacij.
Ravna zrcala
Ravna zrcala Renishaw so izdelana iz steklenega substrata z majhnim koeficientom temperaturnega raztezka, na katerega je nanesena trda in dielektrična oksidna prevleka.
Lastnosti in koristi
- Toplotna stabilnost – substrat z majhnim koeficientom temperaturnega raztezka zmanjšuje napake zaradi sprememb v okolju.
- Visoka odbojnost – površina zrcala je visokoodbojna (> 97 %) za vrhunsko zmogljivost.
- Preprosta montaža – nosilci zrcal Renishaw zagotavljajo preprosto rešitev za pripravo in poravnavanje.
Dimenzije
| Prerez | 25 mm x 25 mm |
| Optična odprtina | 60 mm do 380 mm (v korakih po 10 mm) |
Specifikacije
| Lokalna ravnost | < λ/10 na površini širine 12 mm in višine 7 mm (λ = 633 nm) |
| Celotna ravnost | < λ/10 na 100 mm, < 0,5 µm na 500 mm |
| Križna polarizacija | < 0,5% |
| Odbojnost | > 97% vpadnega žarka |
| Material | Steklo z majhnim temperaturnim koeficientom dolžinskega raztezka |
Ravna zrcala so na voljo v konfiguracijah in dimenzijah po meri, zato se izdelujejo samo po naročilu, z daljšim dobavnim rokom in v minimalnih količinah. Zrcala lahko naročite tudi drugje, specifikacije pa so podane v podatkovnem listu na dnu strani.
Nosilci zrcal
Renishaw za montažo zrcal na pogonsko-pozicionirne sisteme in pravilno poravnavo ponuja nastavljive nosilce preseka 25 mm x 25 mm, namenjene zrcalom do dolžine 350 mm.
Ti nosilci omogočajo nastavitveno območje do ±2,5° okrog navpične osi in ±1° okrog vodoravne osi. (Dejansko nastavitveno območje je odvisno od dolžine zrcala.)
Lastnosti in koristi
- Preprosta poravnava – vgrajena možnost nastavljanja v horizontalni in vertikalni ravnini pospešuje proces poravnavanja zrcal.
- Stabilna pritrditev – stabilni nosilci za zrcalo, ki po potrebi omogočajo temperaturne raztezke.
- Brez omejitev – zrcalo je varno vpeto na dveh straneh, s čimer se zmanjšajo napetosti v zrcalu in s tem tveganje upogibanja nameščenega zrcala.
Nosilci zrcal Renishaw niso primerni za vakuumske aplikacije.
39 mm okno za vakuumsko komoro
Laserski dajalnik z optičnim vlaknom Renishaw RLE uporablja interferometični princip za merjenje linearnega položaja z visoko ločljivostjo.
Glava diferencialnega interferometra (RLD10-X3-DI) je zasnovana za montažo na steno vakuumske komore. Okno na vakuumski komori omogoča prehod laserskih žarkov med glavo detektorja in merilnim zrcalom. Okna za vakuumsko komoro lahko uporabljate tudi z drugimi različicami glav interferometra, ki zahtevajo RLD za merjenje v vakuumski komori (npr. interferometer RVI20 za delo v vakuumu).
Renishaw sam ne izdeluje oken za vakuumske komore, zato 39-milimetrsko okno za vakuumsko komoro zanj dobavlja zunanji proizvajalec po posebnih specifikacijah za maksimalno učinkovitost sistema RLE.
Priporočila za montažo
Renishaw pri montaži okna v steno komore priporoča naslednje.
- Okno ne sme biti vgrajeno pod napetostjo, da ne bi prišlo do deformacij in odstopanja žarka od nominalne lege.
- Vsaj na eni strani okna vakuumske komore vgradite obročno tesnilo za zatesnitev stene komore.
15 mm DI sestav periskopa
Sestav periskopa poveča zamik med merilnim in referenčnim žarkom detektorske glave diferencialnega interferometra RLD10-X3-DI.
Sestav ima dve zrcali, ki povečata zamik za 15 mm na skupaj 29 mm (standardni odmik pri RLD10-X3-DI je 14 mm).
Lastnosti in koristi
- Povečan zamik – zamik med merilnim in referenčnim žarkom se lahko poveča za dodatnih 15 mm.
- Visoka odbojnost – visokoodbojna zrcala zmanjšajo padec jakosti signala med merilnim in referenčnim žarkom.
- Standardna montaža – periskop uporablja standardno montažo glave DI.
Interferometer za vakuum RVI20
RVI20 je interferometrični sestav za ravna zrcala, primeren za vakuum. Pri uporabi v kombinaciji z detektorsko glavo Renishaw RLD10-A3-XX se lahko celotna merilna pot zapre v vakuumsko okolje.
RVI20 je zasnovan za montažo v vakuumsko komoro. Laserski žarek gre iz detektorske glave RLD10-A3-XX skozi okence v komori v RVI20 in nato na ravno zrcalo.
Lastnosti in koristi
- Relativne meritve – omogoča relativne meritve med dvema deloma stroja, kot sta orodje in obdelovanec.
- Primeren za vakuum – primeren za aplikacije v visokem vakuumu in za montažo v vakuumske komore.
- Visokokakovostna optika – RVI20 vsebuje Renishawov visokokakovosten interferometrični optični sestav, ki se običajno uporablja v detektorski glavi RLD.
RVI20 je bil zasnovan za uporabo pri aplikacijah laserskih dajalnikov, kjer mora biti merilna pot zaprta v vakuumskem okolju.
Informacije o izdelkih
Sorodni izdelki
