Глоссарий лазерных энкодеров

Погрешность Аббе

Погрешность Аббе возникает при смещении оси энкодера относительно рабочей оси. Если стол отклоняется от продольной или поперечной оси, то перемещение заготовки будет отличаться от показаний энкодера. При смещении d и отклонении стола θ результирующая погрешность Аббе будет равна: Погрешность Аббе = d × синус θ.

Точность

Точность– это качественное выражение того, согласуется ли выполненное измерение объекта с истинным (целевым или опорным) значением.

Делитель пучка

Делитель пучка – это оптическое устройство, которое разделяет пучок света на два или более компонента. Это основная часть большинства интерферометрических систем.

Компенсация

Процесс изменения выходного позиционного сигнала энкодера для коррекции погрешностей в определении положения.

Конструктивная интерференция

Конструктивная интерференция происходит в тех случаях, когда две световые волны аналогичной фазы и частоты сводятся и образуют результирующий пучок более интенсивный, чем любой из отдельных пучков (см. также «Деструктивная интерференция»).

Деструктивная интерференция

Деструктивная интерференция происходит в тех случаях, когда две световые волны аналогичной частоты, но противоположной фазы, сводятся и образуют менее интенсивный результирующий пучок, чем наиболее интенсивный отдельный пучок (см. также «Конструктивная интерференция»).

Частота

Частота – это количество повторений события в единицу времени. Частота рассчитывается путём измерения времени между двумя последовательными повторениями события (период), и затем частота вычисляется как величина, обратная этому времени. Результат измеряется в герцах (Гц), f = 1/T.

При измерении частоты звука, электромагнитных волн (например, радио- или световых волн), электрических сигналов или других волн частота в герцах равна числу циклов повторяющейся формы волны в секунду. Частота и длина волны обратно пропорциональны друг другу. Частота f равна скорости v волны, разделённой на длину волны λ (лямбда): f = v/λ.

Стабильность частоты

Характеристика изменчивости частоты лазерного излучения.

В воздушной среде

В трёхмерном пространстве, заполненном воздухом.

Интерференция

Интерференция – это наложение двух или более волн, в результате чего создаётся новый профиль волны. Чаще всего этот термин относится к интерференции волн, которые коррелируют друг с другом или являются когерентными либо по причине того, что они исходят из одного источника, либо поскольку они имеют аналогичную или практически аналогичную частоту. (см. также «Конструктивная интерференция», «Деструктивная интерференция»).

Интерполяция

Интерполяция – это метод построения новых точек с данными по дискретному набору известных точек с данными. В управлении по положению обычно подразумевается приём аналогового сигнала положения и деление его на постоянный коэффициент для получения дискретного цифрового сигнала.

Интерполятор

Интерполятор – это электронное устройство, которое делит аналоговый сигнал положения и преобразует его в дискретный цифровой счёт с учётом используемого коэффициента интерполяции. Например, интерполятор 4096, используемый на аналоговом сигнале с периодом 158 нм, даст результат с разрешением 38,6 пикометра.

Лиссажу

Лиссажу – это метод отображения синусоидальных и косинусоидальных сигналов. Он складывает сигналы в форму окружности с помощью триангуляционной алгебры. При расширенной схеме обработки сигнала математические свойства точно определённой точки на окружности представляют множество рабочих характеристик интерферометров, таких как мощность сигнала и положение точки в момент времени.

Производитель комплектного оборудования (OEM)

Производитель комплектного оборудования (Original Equipment Manufacturer, OEM) – это компания, которая изготавливает деталь или подсистему, используемые в конечном изделии другой компании.

Фаза

Фаза волны относится к положению элемента по отношению к аналогичному элементу в другой части формы волны (или к элементу, который эквивалентен такому элементу на другой форме волны). Фаза может измеряться как время, расстояние, часть длины волны или угол.

Квадратура

Термин используется для описания цифрового сигнала последовательного положения, который передаётся по двум линиям и указывает положение при изменении каждого фронта волны. Данные изменения фронта волны происходят с интервалом фазы 90°, поэтому для прохождения 360° необходимы 4 перехода фронта волны. Поэтому это называется квадратурой, которая показывает 4 точки. Часто называют «AQuadB», что указывает на использование линии A и B при подаче выходного сигнала. Как правило, это сигнал RS422 AQuadB, который является стандартным протоколом последовательной передачи данных для энкодеров с обратной связью по положению. Также он может использоваться для определения синусоидальных и косинусоидальных сигналов, которые называют «сдвигом по фазе на 90 градусов».

Коэффициент преломления

Коэффициент преломления – это отношение скорости света в воздушной среде к скорости света в преломляющей среде для заданной длины волны. Он представляет свойство распространения в воздухе, взаимосвязанное с условиями, такими как температура воздуха, относительная влажность и давление.

Разрешение

Разрешение датчика – это наименьшее приращение расстояния, которое он может определить и передать в соответствующий приёмник.

Ошибка подразбиения (sub-divisional error, SDE)

Это несуммарная ошибка, как правило, вызываемая неокруглостью фигур Лиссажу.

Вакуум

Вакуум – это трёхмерное пространство, из которого частично или полностью удалён воздух. Существуют различные уровни вакуума:

• Неглубокий или низкий вакуум – от 1 торр до 1 мторр
• Средний вакуум – от 1 мторр до 10 мкторр
• Высокий вакуум – от 1 мкторр до 10 нторр
• Сверхвысокий вакуум – менее 1 нторр

Где: 1 торр = 133,322 Па. 1 атмосфера (давление на уровне моря) = 101,325 кПа = 760 торр

Длина волны

Длина волны – это расстояние между повторяющимися точками профиля волны. Обычно обозначается греческой буквой лямбда (λ). В синусоидальной волне длиной волны считается расстояние между пиками. Длина волны λ обратно пропорциональна частоте f – числу пиков, проходящих через точку в течение заданного времени. Длина волны равна скорости волны, разделённой на частоту волны.