RLU - Kompakte Lasereinheit mit Glasfaserübertragung
Lasereinheiten von Renishaw bieten die herausragende Leistung von Verschiebungsinterferometern kombiniert mit der einfachen Installierbarkeit, wie sie von herkömmlichen Messsystemen mit Glasmaßstab oder Maßband bekannt ist.
RLE System
Das RLE System ist ein einzigartiges homodynes Laserinterferometer, das speziell für den Einsatz als Wegmesssystem entwickelt wurde. Jedes RLE System besteht aus einer RLU Lasereinheit und einem oder zwei RLD10 Detektorköpfen, wobei das Detektorkopfmodell von den Anforderungen der jeweiligen Anwendung abhängig ist.
Die RLU-Lasereinheit, die als Einzel- oder Doppelachsenkonfiguration erhältlich ist, enthält eine HeNe (Helium/Neon)-Laserquelle, Elektronik zur Stabilisierung, Glasfaseranbindung und Elektronik zur Bestimmung der Achsenposition.
Dank Renishaws Messsystemen übertreffen wir ständig die Spezifikationen unserer Kunden. Wir möchten unseren Kunden den allerbesten Service bieten und führen einen Teil unseres kontinuierlichen Erfolgs auf die technologischen Fortschritte zurück, die Unternehmen wie Renishaw bieten.
Aerotech (USA)
RLU10 Lasereinheit
RLU10 bietet eine Laser-Frequenzstabilität von ±50 nm/m über einen Zeitraum von einer Stunde, wodurch eine für die meisten Anwendungen „in Luft“ geeignete Leistung erzielt wird.
Vorteile und Merkmale
Die Kombination der RLU10 mit den für die jeweilige Anwendung geeigneten Detektorköpfen (RLD) von Renishaw bietet folgende Vorteile und Merkmale:
- Einfache Systemarchitektur - dank des einzigartigen Glasfaserübertragungssystems von Renishaw
- Schnelle Ausrichtung - Mit RLD Detektorköpfen können Laserstrahlen direkt zur Messachse montiert werden
- Kompakte Baugröße und leichte Einrichtung - Minimaler Platzbedarf und schnelle Installation
RLU10 im Überblick
Faserlängen | 3 m oder 6 m* |
Anzahl der Achsen | Einzel- oder Doppelachsen* |
Laserquelle | HeNe der Klasse 2 |
Ausgangssignale | Analoges / digitales Rechtecksignal |
Geschwindigkeiten | Bis zu 2 m/s** |
* Werkseitig konfiguriert
** Von Version / Auflösung abhängig
RLU10 Leistung
Laserfrequenzstabilität (1 Minute) | ‹±10 nm/m |
Laserfrequenzstabilität (1 Stunde) | ‹±50 nm/m |
Laserfrequenzstabilität (8 Stunden) | ‹±50 nm/m |
Wellenlängenstabilität im Vakuum (über 3 Jahre) | ±0,1 µm/m |
Anwendung auf XY-Tischen
Suchen Sie nach einem geeigneten Laser-Messsystem für eine Anwendung auf einem XY-Tisch in normaler Umgebung? Das RLE10-DX-XG wird häufig für diese Art von Anwendung verwendet. Dabei wird die RLU10 Lasereinheit von Renishaw mit zwei RLD10-A3-P9 (90° Planspiegelinterferometer) Köpfen kombiniert.
RLU20 Lasereinheit
Die Lasereinheit RLU20 bietet eine Laser-Frequenzstabilität von ±2 nm/m über eine Stunde, sodass eine herausragende Messleistung für die meisten Vakuumanwendungen erzielt wird.
Vorteile und Merkmale
Die Kombination des RLU20 mit den für die jeweilige Anwendung geeigneten Detektorköpfen (RLD) von Renishaw bietet folgende Vorteile und Merkmale:
- Einfache Systemarchitektur - dank des einzigartigen Glasfaserübertragungssystems von Renishaw
- Schnelle Ausrichtung - Mit RLD Detektorköpfen können Laserstrahlen direkt zur Messachse montiert werden
- Kompakte Baugröße und leichte Einrichtung - Minimaler Platzbedarf und schnelle Installation
RLU20 im Überblick
Faserlängen | Nur 3 m* |
Anzahl der Achsen | Einzel- oder Doppelachsen* |
Laserquelle | HeNe der Klasse 2 |
Ausgangssignale | Analog / digital |
Geschwindigkeiten | Bis zu 2 m/s** |
* Werkseitig konfiguriert
** Von Version / Auflösung abhängig
RLU20 Leistung
Laserfrequenzstabilität (1 Minute) | ‹±1 nm/m |
Laserfrequenzstabilität (1 Stunde) | ‹±2 nm/m |
Laserfrequenzstabilität (8 Stunden) | ‹±20 nm/m |
Wellenlängenstabilität im Vakuum (über 3 Jahre) | ±0,1 µm/m |
Anwendung zur Differenzialmessung
Suchen Sie nach einem geeigneten Laser-Messsystem für Differenzialmessungen innerhalb einer Vakuumumgebung? Das RLE20-DX-XP System wird häufig für diese Art von Anwendung verwendet. Dabei wird die RLU20 Lasereinheit von Renishaw mit zwei RLD10-X3-DI (Differenzial-Interferometer) Köpfen eingesetzt.
Konfiguration eines RLE Systems
Für den Betrieb als Verschiebungsinterferometer muss die Lasereinheit von Renishaw mit einem geeigneten Kopf für die Anwendung kombiniert werden. Die folgenden Optionen sollten bei der Konfiguration Ihres RLE Systems berücksichtigt werden:
- Laserquelle (RLU10 oder RLU20)
- Länge der Faser 3 m oder 6 m (nur RLE10)
- Kalibrierschein (gegen Aufpreis verfügbar)
- Planspiegel- oder Retroreflektor-Zieloptiken
- RLD Detektorkopf-Typ für jede Achse
- Strahlausgänge pro Achse (gilt nicht für den Differenzialinterferometer-Kopf)
Zur Bestimmung der Teilenummer des für Ihre Anwendung benötigten RLE Laser-Messsystems spezifizieren Sie einfach Ihre Anwendungsanforderungen im Teilenummer-Generator. Das Programm wird automatisch die erforderliche Teilenummer des Systems bestimmen. Anhand dieser Nummer kann dann ein Angebot angefordert bzw. eine Bestellung aufgegeben werden.
Produktinformationen
- Data sheet: RLU10 laser unit [en]
- Data sheet: RLU20 laser unit [en]
- Data sheet: RLE system performance [en]
- Case study: VAD Instrument chooses Renishaw’s UHV optical encoders for motion platforms [en]
- Case study: Encoders hold the key to ultra-accurate motion control [en]
- Case study: RLE20 interferometer enhances performance of Raith’s latest e-beam tool [en]
- Data sheet: Traceability chart: RCU10, XC-80, RLE and HS20 [en]