RLD10 Planspiegelinterferometer
Planspiegelinterferometer für XY-Tische
RLD10 Detektorköpfe beinhalten die Interferometeroptik, eine einzigartige mehrkanalige Strahlerkennungselektronik, eine Ausgangsoptik und eine integrierte Strahlsteuerung. Für den RLD10 Detektorkopf sind Varianten sowohl mit 0° als auch 90° erhältlich.
Vorteile und Merkmale
- Doppelachsenlösungen - Doppelachsen-Planspiegelsysteme sind die ideale Lösung für Anwendungen auf XY-Tischen.
- Hohe Auflösung - Planspiegelsysteme können auch bei Anwendungen eingesetzt werden, bei denen eine höhere Auflösung im Vergleich zu Retroreflektorsystemen erforderlich ist.
- Sensible Umgebungen - Planspiegelinterferometer-Detektorköpfe sind auch als Low-Power-Variante erhältlich. Geeignet für Anwendungen, bei denen die Verlustleistung noch geringer als die spezifizierten < 2 W des Standard-RLD10 sein muss.
Spezifikationen
| Verfahrweg der Achsen | 0 m bis 1 m |
| Auflösung (mit RLU konfiguriert) | Analoges Rechtecksignal = λ/4 (158 nm) |
Nichtlinearitätsfehler des Systems* (SDE) *Interface ausgenommen | <±2,5 nm unter 50 mm/s mit >70% Signalstärke <±7,5 nm bei 1 m/s mit >50% Signalstärke |
| Maximale Geschwindigkeit | Bis zu 1 m/s |
Für Nicht-Vakuum-Anwendungen ist eine Kompensation des Brechungsindexes erforderlich. Renishaw bietet das RCU10 Echtzeit-Kompensationssystem zum Ausgleich dieser Veränderungen an.
Auflösungen bis 38,6 Pikometer können durch die Integration eines RPI20 Parallel-Interface in ein RLE-System erreicht werden. Dieses Interface wandelt analoge Sinus-/Kosinus Differenzsignale mit 1 Vss in Digitalsignale im Parallelformat um. Nähere Informationen zu unserem Zubehör sind unter RCU10 Kompensationssystem und Interfaces für Laser-Messsysteme zu finden.
Produktinformationen
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