RESOLUTE™ UHV Absolut-Messsystem mit RELA30 Maßstab

Merkmale

Serielle Interfaces: BiSS® C, Panasonic
Abtastkopfgröße: 36 x 16,5 x 17,2 mm
Auflösungen bis 1 nm bei 100 m/s
±1 µm Genauigkeit bei 20 °C
Thermischer Ausdehnungskoeffizient der Maßverkörperung bei 20 °C: 0,75 ±0,35 µm/m/°C

Vorteile

Sehr hohe Genauigkeit in Kombination mit einer thermischen Ausdehnung von fast null
Geringe Ausgasung für Vakuumumgebungen
Weniger als 10 nm RMS Jitter für eine verbesserte Positionsstabilität
±40 nm zyklischer Fehler für gleichmäßige Geschwindigkeitsregelung
Optionales Advanced Diagnostic Tool

Was ist RESOLUTE UHV?

RESOLUTE UHV bietet Absolutmesstechnik für Ultrahochvakuum-Anwendungen. Kunden können damit einen höheren Messdurchsatz erzielen, Beschädigungsrisiken senken und die Zuverlässigkeit verbessern.

RESOLUTE übertrifft alle anderen absoluten Messsysteme, die für UHV-Umgebungen entwickelt wurden. Mit einer Auflösung von 1 nm und Geschwindigkeiten bis zu 100 m/s bietet RESOLUTE eine Spezifikation, die in der Messsystem-Technologie eine bahnbrechende Neuerung darstellt.

Was ist ein RELA30 Maßband?

RELA30 ist ein Maßstab aus ZeroMet, einer Legierung aus Nickel und Eisen mit geringer thermischer Ausdehnung. Er besitzt unsere Absolutcodierung mit 30 µm Teilungsperiode.
Er ist mit Glasmaßstäben mit feiner Teilungsperiode vergleichbar und bietet eine Gesamtgenauigkeit (einschließlich Steigung und Linearität) von unter ±1 μm bei einer Länge von bis zu 1 m. ZeroMet besitzt einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten von 0,75 ±0,35 µm/m/°C bei 20 °C.
Konstrukteure können zwischen speziellem UHV-kompatiblem Klebstoffband oder Montageklammern wählen, je nach Anforderung Beide Montagemethoden erlauben eine vom Untergrund unabhängige thermische Ausdehnung.

Was spricht für dieses Messsystem?

Einfache Fehlersuche und Wartung

Das Advanced Diagnostic Tool ADTa‑100 ist ein Diagnoseinstrument, das umfassende Echtzeitdaten von den Abtastköpfen der RESOLUTE™ Messsysteme (gekennzeichnet mit dem ADT-Symbol) erfasst. Die Informationen werden über die benutzerfreundliche Softwareoberfläche von ADT View angezeigt. Obwohl in den meisten Fällen die integrierte Einstell-LED am Messsystem für die Systemeinrichtung ausreicht, kann das ADT zur Unterstützung bei besonders schwierigen Installationen eingesetzt werden. Das ADT kann auch Informationen zur Messsystemleistung liefern und unterstützend bei der Systemfehlersuche eingesetzt werden, um längere Maschinenausfallzeiten zu vermeiden.

UHV (Ultra-Hochvakuum)

RESOLUTE UHV bietet revolutionäre Absolut-Mess-Technologie von Renishaw mit einem Abtastkopf, der in UHV-Umgebungen bis zu 10 ^-9 Torr eingesetzt werden kann. Die neue Palette an RESOLUTE UHV Messsystemen ist aus Materialien mit sauberer Restgasanalyse (RGA) hergestellt, wodurch sie sich für Hochleistungs-, Halbleiter- und wissenschaftliche Anwendungen eignet.

Großzügige Einstelltoleranzen

RESOLUTE UHV verwendet nicht das herkömmliche Dual-Track-System (zwei nebeneinanderliegende Spuren, eine inkremental und eine absolut), das schon bei kleinen Winkelabweichungen zu Messfehlern führt. Dieses Absolut-Messsystem verwendet stattdessen ein optisches, single-track Absolut-Maßband und verbindet die Absolutposition und die eingebettete Phaseninformation in einem Code. Diese Technologie ermöglicht RESOLUTE UHV weitaus großzügigere Einstelltoleranzen (Gierwinkeltoleranz von ±0,5°) für eine schnelle und einfache Installation sowie eine ausgezeichnete Zuverlässigkeit auf Dauer – selbst dann, wenn sich die Bewegungsachsen im Laufe der Zeit absetzen oder bewegen. Eine zusätzliche Unterstützung bei der Installation und Diagnose bietet die am Abtastkopf integrierte Einstell-LED.

Optionales Advanced Diagnostic Tool ADTa-100

Die Abtastköpfe der RESOLUTE Messsysteme (die mit dem ADT-Symbol gekennzeichnet sind) sind mit dem Advanced Diagnostic Tool ADTa-100 und der Software ADT View kompatibel. Sie bieten eine umfassende Echtzeit-Datenrückmeldung vom Messsystem zur Unterstützung bei besonders schwierigen Installationen und für die Diagnose. Die intuitiv bedienbare Softwareoberfläche bietet Folgendes:

Fernkalibrierung
Signaloptimierung über die gesamte Achslänge
Digitalanzeige der Messsystemposition (in Bezug auf die Maßverkörperung)
Datenexport und -speicherung
Null setzen

Serielle Interfaces

Serielle Interfaces	Beschreibung	Datenblatt	Kompatible Produkte
BiSS C	Renishaw unterstützt das unidirektionale BiSS C Protokoll für Absolut-Messsysteme. BiSS C ist ein serielles Hochgeschwindigkeits-Interface, das sich bestens für dynamische Achsen eignet, die hohe Beschleunigungen, gleichmäßige Geschwindigkeitsregelung, eine hervorragende Wiederholgenauigkeit sowie bestmögliche Positionsstabilität erfordern. RESOLUTE mit BiSS C ist als Weg- und als Winkelmesssystem erhältlich und mit einer großen Auswahl an Standardsteuerungen, Antrieben, Digitalanzeigen und PC-Zählerkarten kompatibel.	RESOLUTE BiSS C	Seite BiSS C kompatible Produkte
Panasonic	RESOLUTE mit seriellem Interface von Panasonic ist in verschiedenen Ausführungen als Weg- und Winkelmesssystem erhältlich. Das mit den Antrieben der A5 und A6 Baureihen kompatible Messsystem bietet wiederholgenaues Feedback mit hoher Auflösung zur besseren Servo- und Geschwindigkeitssteuerung.	RESOLUTE Panasonic	-

Technische Daten

Maßverkörperung	Absolut codierter, hochgenauer ZeroMet Maßstab
Abtastkopfgröße (LxBxH)	36 mm x 16,5 mm x 17,2 mm
Teilungsperiode	Nominal 30 µm
Thermischer Ausdehnungskoeffizient bei 20 °C	0,75 ±0,35 µm/m/°C
Gesamtgenauigkeit bei 20 °C	Zertifiziert auf ±1 µm, Kalibrierung rückführbar auf internationale Normen
Maßbandlänge	Einige BiSS C Protokollvarianten haben eine begrenzte max. Länge (Siehe Datenblatt für nähere Informationen) 80 mm bis 1,5 m
Maximale Geschwindigkeit	(Siehe Datenblatt für nähere Informationen) Bis zu 100 m/s
Serielle Interfaces*	BiSS C, Panasonic
Auflösungen	BiSS C: 50 nm, 5 nm und 1 nm Auflösungen Panasonic: 100 nm, 50 nm und 1 nm Auflösungen
Zyklischer Fehler (SDE)	±40 nm
Elektrische Verbindung	Bis 10 m Kabel ohne Stecker
Spannungsversorgung	5 V ±10%, max. 250 mA bei 5 V (mit Abschlusswiderstand)
Vibration (im Betrieb)	100 m/s²max. bei 55 Hz bis 2.000
Schock (nicht in Betrieb)	1.000 m/s², 6 ms, ½ Sinus
Betriebstemperatur	0 ℃ bis +75 °C
Ausbacktemperatur (nicht im Betrieb)	120 °C
Schutzklasse	IP30
Kabelaufbau	Einzelne Abschirmung mit versilbertem Kupfergeflecht. FEP-Aderisolation über verzinntem Kupferdraht.

Vollständige technische Details finden Sie in den Datenblättern.

*Weitere serielle Interfaces werden ständig hinzugefügt.