UHV-kompatible optische Messsysteme

Bei vielen industriellen Prozessen würde die Gegenwart von erheblichen Mengen an Luft oder anderen Gasen das Endprodukt beeinträchtigen. Aus diesem Grund müssen diese Prozesse in einer Umgebung stattfinden, die bis auf minimalste Restwerte leer gepumpt wurde. Werden bei diesen Prozessen Bewegungssteuerungen eingesetzt, dann sind Ultrahochvakuum (UHV) Messsysteme notwendig.

Für reine Hochvakuum-Umgebungen und minimale Ausgasung

Alle UHV-kompatiblen Messsysteme von Renishaw wurden zur Verwendung mit verschiedenen wissenschaftlichen, Halbleiter- und anderen fortschrittlichen Industrieanwendungen für Vakuum bis 10 -10 Torr konzipiert.

Die grundlegenden Funktionsweisen sind dieselben wie die für die entsprechenden Normalklima-Produkte; allerdings wurden die UHV-Ausführungen aus speziellen sauberen, vakuumtauglichen Materialien und Klebstoffen so konzipiert, dass geschlossene Hohlräume vermieden wurden. Eine Tauglichkeitsprüfung der Produkte in UHV-Umgebungen wird von einer unabhängigen Prüfstelle, einschließlich eines Restgasanalysen-Spektrumtests, durchgeführt (auf Anfrage erhältlich).

Die Produktreihe umfasst inkrementelle Messsysteme sowie optische Absolut-Messsysteme in offener Ausführung.

Es werden viele hochwertige Messsystemprodukte angeboten, aber nur wenige sind auch mit Vakuumanwendungen kompatibel. Das TONiC UHV-Messsystem von Renishaw bietet hervorragende Ergebnisse und Zuverlässigkeit und ist unsere beste Wahl.

VAD Instruments, Südkorea

Inkrementelle UHV-Messsysteme

TONiC™ UHV-kompatible offene Messsysteme

Das TONiC UHV-Messsystem ist eine speziell modifizierte Variante der TONiC Messsystembaureihe. Es bietet:

Kompatibilität mit einer Vielzahl von Maßverkörperungen:
- Linear: RTLC Edelstahlmaßband, RKLC schmales Edelstahlmaßband, RELM ZeroMet Maßstab, RSLM Edelstahlmaßstab
- Rotativ (Winkelmessung): RESM Edelstahlmessring, REXM hochgenauer Edelstahlmessring

Entdecken Sie TONiC Messsysteme

TONiC™ FS optisches Messsystem auf weißer Plattform

Absolute UHV-Messsysteme

RESOLUTE™ UHV-Messsysteme in offener Ausführung

Das RESOLUTE UHV-Messsystem ist eine speziell modifizierte Variante der RESOLUTE Messsystembaureihe. Es bietet:

Serielle BiSS® C und Panasonic Schnittstellen
Kompatibilität mit einer Vielzahl von Maßverkörperungen:
- Linear: RTLA Edelstahlmaßband, RELA ZeroMet Maßstab, RSLA Edelstahlmaßstab
- Rotativ (Winkelmessung): RESA Edelstahlmessring, REXA hochgenauer Edelstahlmessring

Entdecken Sie RESOLUTE Messsysteme

RESOLUTE™ optisches UHV-Messsystem auf weißer Plattform

Schauen Sie sich unsere Einführung zu optischen RESOLUTE UHV Absolut-Messsystemen an

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