RGA (Restgasanalyse)-Ergebnisse für RESOLUTE™ UHV absolute, optische Messsysteme
Renishaw bietet RGA (Restgasanalyse)-Daten für verschiedene RESOLUTE Vakuumsysteme. Daraus geht hervor, welche Auswirkung das Messsystem auf eine Vakuumumgebung hat.
RGA-Ergebnisse
Prüfablauf
Ein Quadrupol-Massenspektrometer (AccuQuad 200 RGA) wurde verwendet, um RGA (Restgasanalyse)-Daten zu erfassen. Der Kammerdruck wurde mit einem Ionisationsvakuummeter (G8130) gemessen. Nach einer anfänglichen Konditionierung wurde ein Hintergrundspektrum zusammen mit dem Gesamtdruck in der Testkammer aufgenommen.
Die Komponente wurde in das Vakuumsystem (0,0035 m3) gesetzt, das dann mithilfe einer Dioden-/Ionenpumpe des Typs KJL Lion 802 (800/s) und einer Membranpumpe des Typs Divac bei Raumtemperatur 24 Stunden lang ausgepumpt wurde, woraufhin erneut eine Hintergrundabtastung durchgeführt und der Gesamtdruck in der Testkammer aufgezeichnet wurde. War der Systemdruck besser als 5 x 10-9, wurde das Testexemplar bei 120 °C 48 Stunden lang gebacken. Anschließend wurde gewartet, bis das System auf Raumtemperatur heruntergekühlt war, bevor eine letzte Messung des Massenspektrums und des Gesamtdrucks durchgeführt wurde. Die abschließenden RGA-Aufzeichnungen sind nachfolgend dargestellt.
HINWEIS:
Eine exakte Wiederholung dieser Ergebnisse ist unwahrscheinlich, da die RGA-Daten von dem Zustand, der Spezifikation und Leistung des Vakuumsystems abhängen. Jedoch zeigen die Testergebnisse der Restgasanalyse keine nennenswerten, auf RESOLUTE UHV zurückzuführende Verunreinigung und machen deutlich, dass UHV-Bedingungen auch bei Vorhandensein dieses Produktes erzielt werden können.
