旋轉增量式 FS（功能安全）光學尺步驟 2.TONiC™TONiC 超輕巧型 20 µm 光學尺系統TONiC FS 搭配 RESM20TONiC FS 增量式超輕巧型 20 µm 讀頭搭配 RESM20 旋轉（角度）不鏽鋼環 光學尺系列線性增量式線性增量式 UHV線性絕對式線性絕對式 UHV部分弧線增量式部分弧線絕對式旋轉增量式旋轉增量式 UHV旋轉絕對式旋轉絕對式 UHV旋轉絕對式 ETR 位置編碼器磁性編碼器光學尺雷射尺
