線性增量式 UHV 編碼器步驟 2.選擇下列線性增量式 UHV（超高真空）光學尺：TONiC™ UHVTONiC UHV 超輕巧型 20 µm 光學尺系統TONiC UHV 搭配 RTLC20TONiC UHV（超高真空）增量式超輕巧型 20 µm 讀頭，搭配 RTLC20 線性不鏽鋼捲尺。此讀頭具有自黏背膠帶，可直接安裝在基材上或與 FASTRACK™ 攜帶系統搭配使用。亦包括多個介面選項。TONiC UHV 搭配 RKLC20-STONiC UHV（超高真空）增量式超輕巧型 20 µm 讀頭，搭配 RKLC20-S 線性精細不鏽鋼捲尺。採用基材固定式安裝以提升量測效能TONiC UHV 搭配 RELM20TONiC UHV（超高真空）增量式超輕巧型 20 µm 讀頭，搭配 RELM20 線性 ZeroMet™ 低 CTE（熱膨脹係數）光學尺及多個介面選項TONiC UHV 搭配 RSLM20TONiC UHV（超高真空）增量式超輕巧型 20 µm 讀頭，搭配 RSLM20 線性不鏽鋼光學尺及多個介面選項 光學尺系列線性增量式線性增量式 UHV線性絕對式線性絕對式 UHV部分弧線增量式部分弧線絕對式旋轉增量式旋轉增量式 UHV旋轉絕對式旋轉絕對式 UHV旋轉絕對式 ETR 位置光學尺開放式光學尺封閉式光學尺雷射尺磁性光學尺
