RMAP 多軸觀測鏡
多軸觀測鏡可進行 XY 雙軸平台的六個自由度量測
盡可能縮小多個干涉儀的光束面積，可在 XY 雙軸平台應用之中進行六個自由度的量測。多軸觀測鏡採用三個 RLD10-X3-DI 干涉儀頭，能夠精確量測俯仰角、偏轉角和線性位置。
多軸觀測鏡具備 ±30 弧秒的角度範圍，相容於大部分高效能平台，協助進一步最佳化效能。多軸觀測鏡採用單一安裝面，可迅速輕鬆地安裝至真空製程室或量測框架。
使用 RLD10-X3-DI 頭進行角度量測，可讓雷射頻率變異及環境變更造成的誤差，成為兩個路徑之間的共同誤差。相較於由兩個獨立光束計算角度偏差，這種方式可提升精度及可重複性。
特性和優點
- 光束面積小 – 縮小為 18 mm x 35 mm，以盡可能縮小目標鏡組的大小和重量。
- 輕鬆安裝 – 可直接安裝於真空製程室外部，並以四個螺栓固定。
- 高效能 – 利用獨立的 RLD10-X3-DI 頭，可提升精度及可重複性，超越傳統方法。
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