RESOLUTE™ UHV 絕對式光學尺的 RGA (殘留氣體分析) 結果

RGA 結果

測試排程

四極質譜儀 (AccuQuad 200 RGA) 用於收集 RGA (殘留氣體分析) 資料。燃燒室壓力使用離子真空計 (G8130) 測量。經過系統首次調節後，將連同背景光譜和測試燃燒室中的總壓力一起記錄。

元件置於真空系統中 (0.0035 m³)，將利用 KJL Lion 802 (800/s) 雙級離子幫浦和 Divac 隔膜幫浦於環境溫度下持續抽吸 24 小時，在背景掃描後將再次記錄測試燃燒室中的總壓力。若系統壓力高於 5 x 10^-9 mbar，則將在 120 °C 溫度下烘烤測試件持續 48 小時。之後將先讓系統於環境溫度下冷卻，再進行最終質譜儀與總壓力量測。最終 RGA 掃描如下所示。

附註：

不應期待這些反覆測試的結果會完全相同，因為 RGA 資料會因真空系統的環境、規格和效能而有不同。然而，殘留氣體分析結果測試顯示並無明顯污染可歸因於 RESOLUTE UHV，且該 UHV 條件可在使用此產品時達到。