RESOLUTE™ UHV 絕對式光學尺系統搭配 RTLA30 線性光學尺
特性
- 序列介面:BiSS® C、Panasonic
- 讀頭尺寸:36 x 16.5 x 17.2 mm
- 速度高達 100 m/s 時能達到 1 nm 解析度
- 20 °C 時精度為 ±5 µm/m
- 20 °C 時的光學尺熱膨脹係數:10.1 ±0.2 µm/m/°C
優點
- 光學捲尺方便耐用
- 適合真空環境的低放氣率
- RMS 抖動低於 10 nm,提升位置穩定性
- ±40 nm 細分誤差,速度控制平穩
- 選購的進階診斷工具 (ADT)
什麽是 RESOLUTE UHV?
RESOLUTE UHV 為超高真空應用帶來絕對式光學尺技術,因此客戶能提高量測效率、降低受損風險及提升可靠性。
RESOLUTE 優於所有其他針對 UHV 環境設計的絕對式光學尺,RESOLUTE 具備 1nm 解析度與高達 100 m/s 的速度,在光學尺技術規格上無出其右。
什麼是 RTLA30 光學尺?
RTLA30 是一種外型輕巧不鏽鋼光學捲尺,具有 30 µm 刻距絕對式光學尺編碼。精度高達 ±5 µm/m,長度達 21 公尺。提供兩種安裝選擇,皆允許獨立熱膨脹且具備光學捲尺的便利性。
RTLA30 能與創新 FASTRACK™ 光學尺攜帶系統搭配使用。此系統的軌道鋪設迅速簡便,無須使用固定孔。只要取下隔板,捲尺隨即送入軌道。
RTLA30-S 以自黏背膠帶鋪設於基材。自黏膠的設計能使光學尺獨立擴展於基材。
為了完成安裝,兩種光學尺皆夾固在一點以提供基準位置。
為什麼選擇這種光學尺系統?
輕鬆查錯和維護
進階診斷工具 ADTa‑100 可由 RESOLUTE™ 光學尺讀頭(以 ADT 符號標記)取得全面即時資料。然後透過簡單易用的 ADT View 軟體介面顯示這些資訊。儘管在大多數情況下,藉由光學尺內建的 LED 安裝指示燈就能夠完成系統安裝,但 ADT 可協助完成要求更加嚴苛的安裝操作。ADT 還可回報光學尺效能並協助系統查錯,進而避免機器出現長時間停機。
UHV(超高真空)
RESOLUTE UHV 採用 Renishaw 的創新絕對式光學尺技術,並透過適合用於精細至 10 -9 陶爾超高真空條件的讀頭發揮其功能。新的 RESOLUTE UHV 光學尺系列從無塵殘留氣體分析材料(RGA)製造而成,適合用於高性能、半導體及科學應用。
寬廣的設定公差
RESOLUTE UHV 不採用傳統集軌並列技術(一個增量、一個絕對),因為這種技術只要發生些許角度準直調整錯誤,就會產生移相問題。對此,RESOLUTE 改採單軌絕對式光學尺設計,將絕對位置和嵌入式相位資訊結合成單一編碼。此技術賦予 RESOLUTE UHV 更寛廣的設定公差(偏擺公差 ±0.5°)以利快速安裝,即使運動軸在一些時間後發生沈降或移位,也能展現優異的長期穩定性。讀頭內建一個設定用的 LED 指示燈,可進一步協助安裝和診斷。
選配的進階診斷工具 ADTa-100
RESOLUTE™ 光學尺讀頭(以 ADT 符號標記)相容於進階診斷工具 ADTa-100 和 ADT View 軟體。它們可提供全面的即時光學尺資料回饋,以協助完成要求更加嚴苛的安裝和診斷操作。直觀的軟體介面具有以下功能:
- 遠程校正
- 在整個軸上達到訊號優化
- 顯示讀頭相對於光學尺位置的數位讀數
- 匯出和保存資料
- 設定為零
序列介面
序列介面 | 說明 | 規格資料表 | 相容產品 |
BiSS C | Renishaw 於其絕對式光學尺支援 BiSS C(單向)開放來源通訊協定。BiSS C 為高速序列介面,非常適合用於需要高加速度、平順速度控制、優異重複性和可靠定位穩定性的動態軸。 | ||
Panasonic | RESOLUTE 搭配 Panasonic 序列介面可用於線性及旋轉格式。RESOLUTE 與 A5 和 A6 驅動器系列相容,提供高解析度重複回饋,帶來更佳的伺服及速度控制。 | RESOLUTE Panasonic | N/A |
技術規格
量測標準 | FASTRACK RTLA30:不鏽鋼光學捲尺搭配軌道安裝系統 RTLA30-S:不鏽鋼絕對式編碼光學捲尺與黏性背膠,可直接安裝在基材上,無須使用 FASTRACK 導軌 |
讀頭尺寸 (LxWxH) | 36 mm x 16.5 mm x 17.2 mm |
柵距 | 標稱為 ±30 μm |
熱膨脹係數(20 °C 時) | 10.1 ±0.2 μm/m/°C |
精度等級(20°C 時) | ±5 μm/m |
光學尺長度 | 部分 BiSS C 通訊協定版本設有長度上限(請參閱規格資料表以瞭解詳情) FASTRACK:100 mm 至 25 m RTLA30/RTLA30-S:高達 21 m |
最高速度 | (詳見規格手冊) 達到 100 m/s |
序列介面* | BiSS C、Panasonic |
解析度 | BiSS C:50 nm、5 nm 及 1 nm 解析度 Panasonic:100 nm、50 nm 及 1 nm 解析度 |
細分誤差 (SDE) | ±40 nm |
電氣連接 | 長達 10 m 的纜線長度與散線 |
電源 | 5 V ±10%、max 250 mA @ 5 V(終端未連接) |
振動(運作時) | 於 55 Hz 至 2000 Hz 範圍達到最高速 100 m/s2 |
衝擊(非工作) | 1000 m/s2、6 ms、½ 正弦 |
工作溫度 | 0 °C 至 +75 °C |
烘烤溫度(非操作) | 120 °C |
防護等級 | IP30 |
纜線構造 | 鍍銀銅編單屏蔽FEP 芯絕緣覆蓋鍍錫銅線。 |
請參閱規格手冊,了解詳細資訊。
*正持續增加其他序列介面。