RESOLUTE™ UHV 絕對式光學尺系統搭配 RESA30 旋轉(角度)環
特性
- 序列介面:BiSS® C、Panasonic
- 讀頭尺寸:36 x 16.5 x 17.2 mm
- 解析度高達 32 bits/rev
- 速度高達 36,000 rpm
- ±0.52 - 5.49 弧秒系統精度
優點
- 低輪廓環具有內徑大及容易安裝的特性
- 寬廣的設定公差
- 適合真空環境的低放氣率
- RMS 抖動低於 10 nm,提升位置穩定性
- ±40 nm 細分誤差,速度控制平穩
- 選購的進階診斷工具 (ADT)
什麽是 RESOLUTE UHV?
RESOLUTE UHV 為超高真空應用帶來絕對式光學尺技術,因此客戶能提高量測效率、降低受損風險及提升可靠性。
RESOLUTE 優於所有其他針對 UHV 環境設計的絕對式光學尺,RESOLUTE 能在 36,000 rpm 的轉速下實現 32 位元解析度,開創光學尺技術規格的新境界。
什麼是 RESA30 環?
RESA30 為一體式不鏽鋼環,具有的絕對式光學尺編碼直接標示於周圍。多種尺寸均提供兩種版本(Ø52 mm 至 Ø550 mm)。「A」截面環能提供絕佳的安裝精度,具備錐面安裝方式系統,能減少高公差加工零件的需求並能消除偏心率。亦提供「B」截面細環,具備低慣性及低質量。「A」及「B」截面環具備大內徑,可彈性整合至 UHV 應用。非接觸式格式能消除反向間隙、軸扭曲(扭轉)及其他傳統封閉式光學尺固有的機械遲滯錯誤。
為什麼選擇這種光學尺系統?
輕鬆查錯和維護
進階診斷工具 ADTa‑100 可由 RESOLUTE™ 光學尺讀頭(以 ADT 符號標記)取得全面即時資料。然後透過簡單易用的 ADT View 軟體介面顯示這些資訊。儘管在大多數情況下,藉由光學尺內建的 LED 安裝指示燈就能夠完成系統安裝,但 ADT 可協助完成要求更加嚴苛的安裝操作。ADT 還可回報光學尺效能並協助系統查錯,進而避免機器出現長時間停機。
UHV(超高真空)
RESOLUTE UHV 採用 Renishaw 的創新絕對式光學尺技術,並透過適合用於精細至 10 -9 陶爾超高真空條件的讀頭發揮其功能。新的 RESOLUTE UHV 光學尺系列從無塵殘留氣體分析材料(RGA)製造而成,適合用於高性能、半導體及科學應用。
寬廣的設定公差
RESOLUTE UHV 不採用傳統集軌並列技術(一個增量、一個絕對),因為這種技術只要發生些許角度準直調整錯誤,就會產生移相問題。對此,RESOLUTE 改採單軌絕對式光學尺設計,將絕對位置和嵌入式相位資訊結合成單一編碼。此技術賦予 RESOLUTE UHV 更寛廣的設定公差(偏擺公差 ±0.5°)以利快速安裝,即使運動軸在一些時間後發生沈降或移位,也能展現優異的長期穩定性。讀頭內建一個設定用的 LED 指示燈,可進一步協助安裝和診斷。
選配的進階診斷工具 ADTa-100
RESOLUTE™ 光學尺讀頭(以 ADT 符號標記)相容於進階診斷工具 ADTa-100 和 ADT View 軟體。它們可提供全面的即時光學尺資料回饋,以協助完成要求更加嚴苛的安裝和診斷操作。直觀的軟體介面具有以下功能:
- 遠程校正
- 在整個軸上達到訊號優化
- 顯示讀頭相對於光學尺位置的數位讀數
- 匯出和保存資料
- 設定為零
序列介面
序列介面 | 說明 | 規格資料表 | 相容產品 |
BiSS C | Renishaw 於其絕對式光學尺支援 BiSS C(單向)開放來源通訊協定。BiSS C 為高速序列介面,非常適合用於需要高加速度、平順速度控制、優異重複性和可靠定位穩定性的動態軸。 | ||
Panasonic | RESOLUTE 搭配 Panasonic 序列介面可用於線性及旋轉格式。RESOLUTE 與 A5 和 A6 驅動器系列相容,提供高解析度重複回饋,帶來更佳的伺服及速度控制。 | RESOLUTE Panasonic | N/A |
技術規格
量測標準 | 一體式外型輕巧絕對式編碼不鏽鋼環,具備錐面內徑的標準「A」截面或低慣性「B」截面 |
讀頭尺寸 (LxWxH) | 36 mm x 16.5 mm x 17.2 mm |
柵距 | 標稱為 ±30 μm |
熱膨脹係數(20 °C 時) | 15.5 ±0.5 μm/m/°C |
環外徑 | 52 mm 至 550 mm |
系統精度* | ±5.49 至 ±0.52 弧秒(依環徑而定) |
最高速度 | (詳見規格手冊) 36 000 rpm(52 mm 環) |
序列介面† | BiSS C、Panasonic |
解析度 | BiSS C:18 位元、26 位元及 32 位元 Panasonic:23 位元及 32 位元 |
細分誤差 (SDE) | ±40 nm |
電氣連接 | 長達 10 m 的纜線長度與散線 |
電源 | 5 V ±10%、250 mA @ 5 V(終端未連接) |
振動(運作時) | 於 55 Hz 至 2 000 Hz 範圍達到最高速 100 m/s2 |
衝擊(非工作) | 1000 m/s2、6 ms、½ 正弦 |
工作溫度 | 0 °C 至 +75 °C |
烘烤溫度(非操作) | 120 °C |
防護等級 | IP30 |
纜線構造 | 鍍銀銅編單屏蔽FEP 芯絕緣覆蓋鍍錫銅線。 |
請參閱規格手冊,了解詳細資訊。
* 系統精度為刻度誤差加上 SDE。刻劃精度為由單一讀頭測量的角度及如標示之光學尺實際旋轉度之間的最大差值。像是離心率的應用干擾並未包括在內。
*正持續增加其他序列介面。