RESOLUTE™ UHV 絕對式光學尺系統搭配 RELA30 線性光學尺
特性
- 序列介面：BiSS® C、Panasonic
- 讀頭尺寸：36 x 16.5 x 17.2 mm
- 速度高達 100 m/s 時能達到 1 nm 解析度
- 20 °C 時精度為 ±1 µm
- 20 °C 時的光學尺熱膨脹係數：0.75 ±0.35 µm/m/°C
優點
- 極高的精度與幾近零的熱膨脹係數
- 適合真空環境的低放氣率
- RMS 抖動低於 10 nm，提升位置穩定性
- ±40 nm 細分誤差，速度控制平穩
- 選購的進階診斷工具 (ADT)
什麽是 RESOLUTE UHV？
RESOLUTE UHV 為超高真空應用帶來絕對式光學尺技術，因此客戶能提高量測效率、降低受損風險及提升可靠性。
RESOLUTE 優於所有其他針對 UHV 環境設計的絕對式光學尺，RESOLUTE 具備 1nm 解析度與高達 100 m/s 的速度，在光學尺技術規格上無出其右。
什麼是 RELA30 光學尺？
RELA30 為由 ZeroMet 製成的光學尺。ZeroMet 為一種低膨脹係數鎳/鐵合金，具備我們的 30 µm 刻矩絕對式光學尺編碼。
RELA30 可媲美精細刻距玻璃光學尺，提供的整體精度（包括斜率與線性度）在長度達 1 m 的情況下優於 ±1 μm。ZeroMet 在溫度 20 °C 時的熱膨脹係數為 0.75 ±0.35 µm/m/°C。
系統設計師可選擇特別配製的 UHV 相容膠帶或機械夾片滿足安裝需求。兩種安裝方式均可供基板單獨進行熱膨脹。
為什麼選擇這種光學尺系統？
輕鬆查錯和維護
進階診斷工具 ADTa‑100 可由 RESOLUTE™ 光學尺讀頭（以 ADT 符號標記）取得全面即時資料。然後透過簡單易用的 ADT View 軟體介面顯示這些資訊。儘管在大多數情況下，藉由光學尺內建的 LED 安裝指示燈就能夠完成系統安裝，但 ADT 可協助完成要求更加嚴苛的安裝操作。ADT 還可回報光學尺效能並協助系統查錯，進而避免機器出現長時間停機。
UHV（超高真空）
RESOLUTE UHV 採用 Renishaw 的創新絕對式光學尺技術，並透過適合用於精細至 10 -9 陶爾超高真空條件的讀頭發揮其功能。新的 RESOLUTE UHV 光學尺系列從無塵殘留氣體分析材料（RGA）製造而成，適合用於高性能、半導體及科學應用。
寬廣的設定公差
RESOLUTE UHV 不採用傳統集軌並列技術（一個增量、一個絕對），因為這種技術只要發生些許角度準直調整錯誤，就會產生移相問題。對此，RESOLUTE 改採單軌絕對式光學尺設計，將絕對位置和嵌入式相位資訊結合成單一編碼。此技術賦予 RESOLUTE UHV 更寛廣的設定公差（偏擺公差 ±0.5°）以利快速安裝，即使運動軸在一些時間後發生沈降或移位，也能展現優異的長期穩定性。讀頭內建一個設定用的 LED 指示燈，可進一步協助安裝和診斷。
選配的進階診斷工具 ADTa-100
RESOLUTE™ 光學尺讀頭（以 ADT 符號標記）相容於進階診斷工具 ADTa-100 和 ADT View 軟體。它們可提供全面的即時光學尺資料回饋，以協助完成要求更加嚴苛的安裝和診斷操作。直觀的軟體介面具有以下功能：
- 遠程校正
- 在整個軸上達到訊號優化
- 顯示讀頭相對於光學尺位置的數位讀數
- 匯出和保存資料
- 設定為零
序列介面
| 序列介面 | 說明 | 規格資料表 | 相容產品 |
| BiSS C | Renishaw 於其絕對式光學尺支援 BiSS C（單向）開放來源通訊協定。BiSS C 為高速序列介面，非常適合用於需要高加速度、平順速度控制、優異重複性和可靠定位穩定性的動態軸。 | ||
Panasonic | RESOLUTE 搭配 Panasonic 序列介面可用於線性及旋轉格式。RESOLUTE 與 A5 和 A6 驅動器系列相容，提供高解析度重複回饋，帶來更佳的伺服及速度控制。 | RESOLUTE Panasonic | N/A |
技術規格
量測標準 | 絕對式編碼高精度 ZeroMet 光學尺 |
讀頭尺寸 (LxWxH) | 36 mm x 16.5 mm x 17.2 mm |
柵距 | 標稱為 ±30 μm |
熱膨脹係數（20 °C 時） | 0.75 ±0.35 μm/m/°C |
精度等級（20°C 時） | 驗證為最高可達 ±1 μm，校正可追溯至國際標準 |
光學尺長度 | 部分 BiSS C 通訊協定版本有長度限制 （詳見規格手冊） 80 mm 至 1.5 m |
最高速度 | （詳見規格手冊） 達到 100 m/s |
序列介面* | BiSS C、Panasonic |
解析度 | BiSS C：50 nm、5 nm 及 1 nm 解析度 Panasonic：100 nm、50 nm 及 1 nm 解析度 |
細分誤差 (SDE) | ±40 nm |
電氣連接 | 長達 10 m 的纜線長度與散線 |
電源 | 5 V ±10%、max 250 mA @ 5 V（終端未連接） |
振動（運作時） | 於 55 Hz 至 2000 Hz 範圍達到最高速 100 m/s2 |
衝擊（非工作） | 1000 m/s2、6 ms、½ 正弦 |
工作溫度 | 0 °C 至 +75 °C |
烘烤溫度（非操作） | 120 °C |
防護等級 | IP30 |
纜線構造 | 鍍銀銅編單屏蔽FEP 芯絕緣覆蓋鍍錫銅線。 |
請參閱規格手冊，了解詳細資訊。
*正持續增加其他序列介面。