RMAP çok eksenli periskop
Çoklu interferometrelerin ışın taban alanını en aza indirerek, XY düzlem tablası uygulamaları içerisinde altı serbestlik derecesi ölçümünü mümkün kılmak için tasarlanmıştır. Üç RLD10-X3-DI interferometre kafasından faydalanan çok eksenli periskop, periyot aralığı, yatay sapma ve lineer pozisyonu hassas biçimde ölçebilir.
Çok eksenli periskop, ±30 ark saniyelik açısal menzili ile yüksek performanslı tablaların çoğu ile uyumludur. Bu tablaların performanslarını daha ileri götürür. Tek bir montaj yüzeyi çok eksenli periskobun vakum haznesine veya metroloji çerçevesine hızlı ve kolay bir biçimde kurulmasını sağlar.
Açısal ölçümler için RLD10-X3-DI kafasının kullanılması lazer frekansı ve ortam değişikliklerinden kaynaklanan hataların iki yol arasında ortak olmasına izin verir. Bu durum iki bağımsız ışından hesaplanan açısal sapmalara kıyasla hassasiyet ve tekrarlanabilirliği arttırır.
Özellikler ve faydalar
- Kompakt ışın taban alanı – hedef aynalarının boyutunu ve ağırlığını en aza indirmek için 18 mm x 35 mm boyutuna düşürülmüştür.
- Kolay kurulum – doğrudan vakum haznesinin dışına monte edilmek ve dört cıvata ile sabitlenmek üzere tasarlanmıştır.
- Yüksek performans – bağımsız RLD10-X3-DI kafalarından faydalanılması klasik metodlara göre hassasiyeti ve tekrarlanabilirliği arttırır.
Ürün bilgisi
İlgi çekecek diğer ürünler
