RLD10 düzlem aynası interferometre
XY düzlem tablası uygulamaları için uygun düzlem aynası interferometreleri
RLD10 dedektör kafası bünyesinde, interferometre optiklerini, benzersiz bir çok kanallı girişim tespit sistemini, lazer kapağını ve entegre ışın yönlendiriciyi bulundurmaktadır. RLD10 dedektör kafasının hem 0°, hem de 90° modelleri mevcuttur.
Özellikler ve faydalar
- Çift eksenli çözümler - çift eksenli düzlem aynası sistemleri, XY düzlem tablası uygulamaları için ideal çözümdür.
- Yüksek çözünürlük - düzlem aynası sistemleri, retroreflektör sistemleri ile karşılaştırıldığında, daha yüksek çözünürlüğün gerekli olduğu uygulamalar için de kullanılabilir.
- Duyarlı ortamlar - düzlem aynası interferometresi dedektör kafalarının düşük enerjili modeli de mevcuttur. Standart RLD10'a özel 2 W güç kaybından daha düşük güç kaybı gerektiren uygulamalar için uygundur.
Özellikler
| Eksen hareketi | 0 m - 1 m |
| Çözünürlük (RLU ile konfigüre edilmiştir) | Analog dört yönlü = λ/4 (158 nm) |
Sistem doğrusal olmama hatası* (SDE) *arayüzü hariç tutar | <±2,5 nm, 50 mm/saniye hızın altında, sinyal gücü >%70 <±7,5 nm, 1 m/saniye hızda, sinyal gücü >%50 |
| Maksimum hız | 1 m/s'ye varan hızlar |
Vakumsuz uygulamalar, değişen ortam şartlarında hassasiyeti sağlamak için, bazı kırılma indeksi kompanzasyon biçimleri gerektirirler. Renishaw bu değişkenlikleri kompanse etmek için, RCU10 gerçek-zamanlı dört yönlü kompanzasyon sistemini önermektedir.
38,6 picometreye kadar çözünürlükler, bir RPI20 paralel arayüzün RLE sisteme entegre edilmesi ile elde edilebilir. Arayüz diferansiyel analog 1 Vpp sinüs / kosinüs sinyalleri kabul etmekte ve paralel formatta bir çıktı sağlamaktadır. Aksesuarlarımız hakkında daha fazla bilgi almak için RCU10 kompanzasyon sistemi ve lazer enkoder arayüzleri bölümlerine bakınız.
Ürün bilgisi
İlgi çekecek diğer ürünler
