Speglar och optik
Renishaw erbjuder en mängd olika alternativ för optik och speglar för att passa din specifika applikation.
Planspeglar
![Planspegel med monteringsplatser](/media/img/gen/510033cc31674acd9f72c091f026985e.jpg)
Renishaws planspeglar är tillverkade på ett glassubstrat med låg värmeexpansion och har en dielektrisk hårdoxid-beläggning.
Egenskaper och fördelar
- Temperaturstabil - tillverkat på ett substrat med låg värmeexpansion vilket minimerar fel orsakade av variationer i omgivningen.
- Högreflektiv - högreflektiv spegelyta (>97 %) för ultimat prestanda.
- Enkel att montera - Renishaws spegelfästen ger en enkel lösning för inställning och uppriktning.
Mått
Tvärsnitt | 25 mm x 25 mm |
Optisk bländare | 60 mm till 380 mm (10 mm steg) |
Specifikation
Lokal planhet | < λ/10 över ett område 12 mm brett x 7 mm högt ( λ = 633 nm) |
Total planhet | < λ/10 per 100 mm, <0,5 µm per 500 mm |
Korspolarisering | < 0,5 % |
Reflektivitet | > 97 % av den infallande strålen |
Material | Glas med låg temperaturutvidgning |
På grund av deras specialanpassade utformning och mått kan planspeglar endast specialbeställas och kan därför ha längre ledtider och ett minsta beställningsantal. Alternativt ger databladet längst ner på sidan specifikationer för att möjliggöra lokal anskaffning.
Spegelfästen
![Renishaw RAM10-spegelfästen](/media/img/gen/b36a00b9eee04738b329a27a22543ab3.jpg)
För att möjliggöra att speglar monteras och uppriktas korrekt mot rörelsesystemet kan Renishaw även tillhandahålla justerbara fästen för användning med speglar upp till 350 mm , som har ett tvärsnitt på 25 mm x 25 mm.
Dessa fästen möjliggör upp till ±2,5° justering av tippning och ±1° justering av lutning. (Det verkliga justeringsintervallet beror på spegelns längd.)
Egenskaper och fördelar
- Enkel att upprikta - inbyggd justering av lutning och tippning för snabbare uppriktning av spegeln.
- Stabil montering - för att ge en stabil grund för spegeln samtidigt som den kan expandera med temperaturen vid behov.
- Icke-restriktiv - genom att endast fästa spegeln ordentligt på två ytor minskas spänningarna genom spegeln, vilket minimerar risken för att spegeln böjs efter att den har monterats.
Renishaws spegelfästen är inte vakuumkompatibla.
39 mm vakuumkammarfönster
![39 mm vakuumkammarfönster](/media/img/en/70f4ea15ed9342b4838571a1155d1fea.jpg)
Renishaws fiberoptiska laserpulsgivare RLE använder interferometri för att ge linjär feedback med hög upplösning.
Differentialinterferometerhuvudet (RLD10-X3-DI) är konstruerat för att monteras på vakuumkammarens vägg. Ett vakuumkammarfönster möjliggör sedan att laserstrålarna passerar mellan detektorhuvudet och mätspegeln. Vakuumkammarfönster kan också användas med andra varianter av interferometerhuvuden där RLD behövs för att mäta inom en vakuumkammare, såsom den vakuumkompatibla interferometern RVI20.
Renishaw tillverkar inte vakuumkammarfönster, men 39 mm vakuumkammarfönstret har beställts med en specialanpassad specifikation för att maximera RLE-systemets prestanda.
Monteringsrekommendationer
Renishaw rekommenderar följande när kammarfönstret monteras i kammarens vägg.
- Fönstret får inte monteras med spänningar, då det kan orsaka att fönstret deformeras och att strålen avviker från det nominella.
- En O-ring måste användas på minst en sida av kammarfönstret för att skapa och upprätthålla en försegling i kammarens vägg.
15 mm DI periskopenhet
![15 mm DI periskopenhet](/media/img/gen/936f4f14d46443168c8130784b17fe83.jpg)
Periskopenheten ökar förskjutningen mellan mätnings- och referenstrålarna på detektorhuvudet RLD10-X3-DI med differential-interferometer.
Enheten använder två speglar för att öka förskjutningen med 15 mm för att ge en total separation på 29 mm (RLD10-X3-DI-standardförskjutningen är 14 mm).
Egenskaper och fördelar
- Ökad förskjutning - möjliggör ytterligare 15 mm förskjutning mellan mätnings- och referensstrålen.
- Högreflekterande - användning av högreflekterande speglar minimerar minskningen av signalstyrkan mellan mätnings- och referensstrålen.
- Standardmontering - periskopet bibehåller standardfästet för DI-huvuden.
RVI20 vakuumkompatibel interferometer
![RVI20 vakuumkompatibel interferometer](/media/img/gen/d86de82503ae42e0bab2d95040aa0004.jpg)
RVI20 är en vakuumkompatibel interferometer för planspeglar, som när den används med ett Renishaw RLD10-A3-XX-detektorhuvud ger möjlighet att hålla hela mätningsvägen inom vakuum-miljön.
RVI20 är konstruerad för att monteras i vakuumkammaren, och laserstrålen passerar från RLD10-A3-XX-detektorhuvudet genom ett kammarfönster in till RVI20 och sedan på planspegeln.
Egenskaper och fördelar
![RVI20 vakuumkompatibel interferometer](/media/img/gen/823e887f628043689750403f18e4753b.jpg)
- Relativa mätningar - möjliggör relativa mätningar mellan två delar av maskinen, såsom verktyg och arbetsstycke.
- Vakuumkompatibilitet - kompatibel med applikationer med högt vakuum och är lämplig för montering i vakuumkammaren.
- Optik med hög kvalitet - RVI20 innehåller Renishaws högkvalitativa optiska interferometerenhet som normalt används i RLD-detektorhuvudet.
RVI20 har utvecklats för användning i laserpulsgivarapplikationer där mätningsvägen behöver hållas inom vakuum-miljön.