Fleraxligt periskop RMAP
Konstruerad för att möjliggöra mätningar med 6 frihetsgrader i XY-planapplikationer genom att minimera strålens storlek från flera interferometrar. Med 3 interferometerhuvuden RLD10-X3-DI kan det fleraxliga periskopet noggrant mäta tippning, girning och linjär position.
Med ett vinkelintervall på ±30 bågsekunder är det fleraxliga periskopet kompatibelt med de flesta högpresterande plan, vilket ytterligare optimerar deras prestanda. Med ett enda monteringsfäste kan det fleraxliga periskopet installeras snabbt och enkelt på vakuumkammaren eller mätningsramen.
När RLD10-X3-DI-huvudet används för vinkelmätning kan felen som genereras från laserfrekvensvariationer och miljöförändringar vara samma för de två vägarna. Detta förbättrar noggranheten och repeterbarheten jämfört med vinkelavvikelser beräknade från två fristående strålar.
Egenskaper och fördelar
- Kompakt strålstorlek – minskad till 18 mm gånger 35 mm, för att minimera målspeglarnas storlek och vikt.
- Enkel installation – konstruerad för att monteras direkt på vakuumkammarens utsida och fästas med 4 bultar.
- Hög prestanda – att använda fristående RLD10-X3-DI-huvuden förbättrar noggrannhet och repeterbarhet jämfört med konventionella metoder.
Produktinformation
Andra intressanta punkter
